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除振台 アクティブ除振台 (高荷重タイプ) -FVH-2400F/P
除振台 アクティブ除振台 (高荷重タイプ) -藤倉コンポジット株式会社

除振台 アクティブ除振台 (高荷重タイプ)
藤倉コンポジット株式会社

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この製品について

■アクティブ除振台 (高荷重タイプ) 概要

弊社ベローズ式空気ばねを採用した高荷重タイプになります。高除振特性と薄型化を両立。

■優れた応答性

レスポンスの良い薄膜ベローズと大流量アクチュエータにより,装置上で大きい荷重の移動ステージが動いた場合にも,ストローク変動が小さく抑えることが可能です。

■薄型形状

薄型ベローズ方式を採用しているため,薄型の除振装置構造になっております。FVH-2400Fでは、高さ169mm (ニュートラル時) を実現しました。その為,搭載する装置の重心を低く抑えることが可能です.

■用途

・精密装置の床振動軽減 ・半導体製造装置、半導体検査装置、液晶露光装置、精密測定装置、精密加工機、その他精密機器等

■ベローズ式空気ばねについて

ダイヤフラムの製造技術を基に、非常に薄肉でありながら高い耐久性を有したベローズ式空気ばねを開発し本装置に採用しております。

  • シリーズ

    除振台 アクティブ除振台 (高荷重タイプ)

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2024年10月7日にレビュー済み

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除振台 アクティブ除振台 (高荷重タイプ) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 脚構成 脚 搭載質量範囲 Kg ストローク mm 供給圧力 (流量) MPa (L/min (ANR) ) 消費電力 VA 固有振動数 Hz (パッシブ計算値) 鉛直 (Z) 方向 制御方式 水平 (X・Y) 方向 制御方式 制御自由度
除振台 アクティブ除振台 (高荷重タイプ) -品番-FVH-2400F/P

FVH-2400F/P

要見積もり

4

20,000~30,000

鉛直方向1~7/水平方向 ±2

0.6~1.0 (170以上)

1,520

鉛直方向 3.7~5.5 / 垂直方向 3.2~5.0

位置・減衰

位置・減衰

6 自由度 (X,Y,Z,θX,θY,θZ)

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