除振台 アクティブ除振台 (高荷重タイプ)
藤倉コンポジット株式会社
この製品について
■アクティブ除振台 (高荷重タイプ) 概要
弊社ベローズ式空気ばねを採用した高荷重タイプになります。高除振特性と薄型化を両立。■優れた応答性
レスポンスの良い薄膜ベローズと大流量アクチュエータにより，装置上で大きい荷重の移動ステージが動いた場合にも，ストローク変動が小さく抑えることが可能です。■薄型形状
薄型ベローズ方式を採用しているため，薄型の除振装置構造になっております。FVH-2400Fでは、高さ169mm (ニュートラル時) を実現しました。その為，搭載する装置の重心を低く抑えることが可能です．■用途
・精密装置の床振動軽減 ・半導体製造装置、半導体検査装置、液晶露光装置、精密測定装置、精密加工機、その他精密機器等■ベローズ式空気ばねについて
ダイヤフラムの製造技術を基に、非常に薄肉でありながら高い耐久性を有したベローズ式空気ばねを開発し本装置に採用しております。-
シリーズ
除振台 アクティブ除振台 (高荷重タイプ)
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取扱企業
藤倉コンポジット株式会社
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除振台 アクティブ除振台 (高荷重タイプ) 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 脚構成 脚 | 搭載質量範囲 Kg | ストローク mm | 供給圧力 (流量) MPa (L/min (ANR) ) | 消費電力 VA | 固有振動数 Hz (パッシブ計算値) | 鉛直 (Z) 方向 制御方式 | 水平 (X・Y) 方向 制御方式 | 制御自由度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
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FVH-2400F/P |
要見積もり | 4 | 20,000~30,000 | 鉛直方向1~7/水平方向 ±2 | 0.6~1.0 (170以上) | 1,520 | 鉛直方向 3.7~5.5 / 垂直方向 3.2~5.0 | 位置・減衰 | 位置・減衰 | 6 自由度 (X,Y,Z,θX,θY,θZ) |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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- 本社所在地: 東京都