除振台ベローズ式パッシブ除振台
藤倉コンポジット株式会社

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この製品について

■ベローズ式パッシブ除振台 概要弊社ベローズ式空気ばねを採用したパッシブ除振台。高除振特性と薄型化を両立。

■高除振特性、省スペース化ダイヤフラムの製造技術を基に、非常に薄肉でありながら高い耐久性を有したベローズ式空気ばねを開発しました。本ベローズを除振台に適用することで、高い除振特性を有するだけ
でなく、除振台の本体の小型化や、薄肉による高い応答性を実現致しました。

■専用設計低固有振動数調整用の外付タンクや、パッシブマウントのアクティブ化等、お客様のご要望に応じた専用設計にも対応致します。

■用途・精密装置の床振動軽減
・半導体製造装置、半導体検査装置、液晶露光装置、精密測定装置、精密加工機、その他精密機器等

■ベローズ式空気ばねについてダイヤフラムの製造技術を基に、非常に薄肉でありながら高い耐久性を有したベローズ式空気ばねを開発し本装置に採用しております。

■特性低鉛直方向、水平方向の除振特性 鉛直方向、水平方向共に低く安定した固有振動数を有し、高周波領域では高い除振特性を示しています。

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
除振台ベローズ式パッシブ除振台

取扱企業
藤倉コンポジット株式会社

カテゴリ

保護材・保護機器

除振台

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除振台ベローズ式パッシブ除振台品番3件

フィルター

品番	価格 (税抜)	脚構成脚	搭載質量範囲 Kg 500~1,500 2,000~5,000 5,000~20,000	ストローク mm	固有振動数 Hz
FPM-100	要見積もり	3~4	500~1,500	鉛直方向 ±3 / 垂直方向 ±2	鉛直方向 3.7~5.5 / 垂直方向 2.7~5.0
FPM-200	要見積もり	3~4	2,000~5,000	鉛直方向 ±3 / 垂直方向 ±2	鉛直方向 3.7~5.5 / 垂直方向 2.7~5.0
FPM-300	要見積もり	3~4	5,000~20,000	鉛直方向 ±3 / 垂直方向 ±2	鉛直方向 3.7~5.5 / 垂直方向 2.7~5.0