除振台 ベローズ式パッシブ除振台-FPM-100
除振台 ベローズ式パッシブ除振台-藤倉コンポジット株式会社

除振台 ベローズ式パッシブ除振台
藤倉コンポジット株式会社



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この製品について

■ベローズ式パッシブ除振台 概要

弊社ベローズ式空気ばねを採用したパッシブ除振台。高除振特性と薄型化を両立。

■高除振特性、省スペース化

ダイヤフラムの製造技術を基に、非常に薄肉でありながら高い耐久性を有したベローズ式空気ばねを開発しました。本ベローズを除振台に適用することで、高い除振特性を有するだけ でなく、除振台の本体の小型化や、薄肉による高い応答性を実現致しました。

■専用設計

低固有振動数調整用の外付タンクや、パッシブマウントのアクティブ化等、お客様のご要望に応じた専用設計にも対応致します。

■用途

・精密装置の床振動軽減 ・半導体製造装置、半導体検査装置、液晶露光装置、精密測定装置、精密加工機、その他精密機器等

■ベローズ式空気ばねについて

ダイヤフラムの製造技術を基に、非常に薄肉でありながら高い耐久性を有したベローズ式空気ばねを開発し本装置に採用しております。

■特性

低鉛直方向、水平方向の除振特性 鉛直方向、水平方向共に低く安定した固有振動数を有し、高周波領域では高い除振特性を示しています。

  • シリーズ

    除振台 ベローズ式パッシブ除振台

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除振台 ベローズ式パッシブ除振台 品番3件

各品番毎の詳細は品番をクリックしてください

まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) 脚構成 脚 搭載質量範囲 Kg ストローク mm 固有振動数 Hz
除振台 ベローズ式パッシブ除振台-品番-FPM-100

FPM-100

要見積もり 3~4 500~1,500 鉛直方向 ±3 / 垂直方向 ±2 鉛直方向 3.7~5.5 / 垂直方向 2.7~5.0
除振台 ベローズ式パッシブ除振台-品番-FPM-200

FPM-200

要見積もり 3~4 2,000~5,000 鉛直方向 ±3 / 垂直方向 ±2 鉛直方向 3.7~5.5 / 垂直方向 2.7~5.0
除振台 ベローズ式パッシブ除振台-品番-FPM-300

FPM-300

要見積もり 3~4 5,000~20,000 鉛直方向 ±3 / 垂直方向 ±2 鉛直方向 3.7~5.5 / 垂直方向 2.7~5.0

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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