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ナノリソグラフィとナノマニピュレーションのための直感的なユーザーインターフェイスを備えた Park SmartLitho™-パーク・システムズ・ジャパン株式会社

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SmartScan™ 自動モードは、イメージングに必要なすべての操作を自動的に実行し、最適な画質とスキャン速度を全自動で高度に判断します。SmartScan™ 自動モードは、Park独自のテクノロジーによって実現されました。これは、時間とコスト削減にもつながり、より効率的に研究結果を得ることができます。 SmartScan™によって作動するPark SmartLitho™は、材料、電気および電子デバイス、ナノテクノロジー、その他の研究分野においてナノリソグラフィとナノマニピュレーションを行うためのAFMベースプラットフォームです。 Park SmartLitho™ソフトウェアには、様々なリソグラフィモードが搭載されており、ベクターモードとラスターモードの両方をサポートします。簡単なユーザインターフェイスを備えたPark SmartLitho™は、スタンドアロン型の便利な描画編集機能を提供するSmartScan™プラットフォーム上で操作できます。

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