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面発光ポーラスチャック-面発光ポーラスチャック
面発光ポーラスチャック-株式会社吉岡精工

面発光ポーラスチャック
株式会社吉岡精工

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この製品について

■概要

光源を内蔵することにより、発光機能を追加したポーラスチャックです。点発光でなく全面発光となり多層ウェハの内部パターン検査や、検査ワークのエッジ検査の精度向上などに貢献します。

■ポーラスチャックとは

ポーラス (多孔質体) と吸引による負圧を利用して薄いモノを高精度・平面に吸着固定する製品です​。ポーラスチャックの多くはダイシングソーをはじめ各種半導体製造装置や検査装置に組み込まれます​。シリコンウェハはもちろん、近年ではフィルムやフレキシブル基板 (FPC) 、紙などありとあらゆる薄物ワークの吸着固定を実現します。

■ポーラス (多孔質体) とは

一般的にはスポンジのように連続した細かい孔が無数に空いている材料のことを言います​。当社のポーラスはアルミナやステンレス等の細かい粉体を通気性を持たせつつ焼き固めたものであり​用途に応じた粗さ (気孔径) で製作が可能です。

■ポーラスチャックの構造

ポーラスチャックはポーラスとポーラスをはめこむボディで構成されます。​それぞれの材質、形状はお客様のご要望・用途をヒアリングし最適な仕様にてご提案致します。

■従来の穴吸着との違い

穴や溝加工の真空チャックでは、薄いワークを吸着すると変形してしまいますが、ポーラスチャックは全面で吸着するため薄いワークも変形なく保持できます。

■ポーラスチャックの強み

伝統の技術と革新的なアイデアを融合したモノづくり。 創業より60年以上に渡り培ってきた自社工場での確かな技術により、ミクロンオーダーでの高精度加工、お客様のご要望の図面・形状にて一品から製作します。図面がない場合でもご相談いただければ当社で図面化のうえ製作可能です。

■期待に応えるオーダーメイド

1．ポーラスを選ぶ：材質、気孔径、色 2．ボディを選ぶ：材質、表面処理 3．形状をデザインする：形状

  • シリーズ

    面発光ポーラスチャック

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メール回答、参考図面提出、概算見積りなど迅速で丁寧なご対応です。

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面発光ポーラスチャック 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 選定可能気孔径 ポーラス材質 ボディ材質 光量 サイズ
面発光ポーラスチャック-品番-面発光ポーラスチャック

面発光ポーラスチャック

要見積もり

120μm

アルミナセラミック (白のみ)

SUS

~ 10万ルクス (ポーラス表面での測定値)

~ φ200 □200

この商品の取り扱い会社情報

株式会社吉岡精工

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100.0%

返答時間

14.4時間

企業レビュー

5.0

会社概要

株式会社吉岡精工は、ポーラスチャックを製造を通じて装置メーカーが抱える課題解決の一端を担っている会社です。 1971年に資本金3000万円で設立されたこの会社は、神奈川県横浜市に本社を構えています。装置メーカーが抱える...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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