ファインポーラスチャック
株式会社吉岡精工

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この製品について

■概要緻密な気孔径のポーラスを選定。フィルムなど極薄ワーク への対応やポーラス全面を覆わない部分吸着力に優れます。

■ポーラスチャックとはポーラス (多孔質体) と吸引による負圧を利用して薄いモノを高精度・平面に吸着固定する製品です​。ポーラスチャックの多くはダイシングソーをはじめ各種半導体製造装置や検査装置に組み込まれます​。シリコンウェハはもちろん、近年ではフィルムやフレキシブル基板 (FPC) 、紙などありとあらゆる薄物ワークの吸着固定を実現します。

■ポーラス (多孔質体) とは一般的にはスポンジのように連続した細かい孔が無数に空いている材料のことを言います​。当社のポーラスはアルミナやステンレス等の細かい粉体を通気性を持たせつつ焼き固めたものであり​用途に応じた粗さ (気孔径) で製作が可能です。

■ポーラスチャックの構造ポーラスチャックはポーラスとポーラスをはめこむボディで構成されます。​それぞれの材質、形状はお客様のご要望・用途をヒアリングし最適な仕様にてご提案致します。

■従来の穴吸着との違い穴や溝加工の真空チャックでは、薄いワークを吸着すると変形してしまいますが、ポーラスチャックは全面で吸着するため薄いワークも変形なく保持できます。

■ポーラスチャックの強み伝統の技術と革新的なアイデアを融合したモノづくり。

創業より60年以上に渡り培ってきた自社工場での確かな技術により、ミクロンオーダーでの高精度加工、お客様のご要望の図面・形状にて一品から製作します。図面がない場合でもご相談いただければ当社で図面化のうえ製作可能です。

■期待に応えるオーダーメイド1．ポーラスを選ぶ：材質、気孔径、色
2．ボディを選ぶ：材質、表面処理
3．形状をデザインする：形状