湿式除害装置マイクロバブルスクラバー Panaceaシリーズ-Panaceaシリーズ

湿式除害装置マイクロバブルスクラバー Panaceaシリーズ
株式会社東設

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この製品について

マイクロバブルを使用したコンパクトで非常に高効率な湿式除害装置です。
Cl2を水のみで除害したいお客様向けのマイクロバブルスクラバーです。

・ドライエッチング装置から排気されるCl2、F2等のハロゲン系ガスを水だけで99.7%以上除害します。
・メタル系装置にて発生する副生成物、粉体 (2.5µm) を99%以上除去します。
・薬剤を使わず、工場内リサイクル水での除害が可能な為、大幅なランニングコストの削減が可能です。
・お客様の異なる製造プロセスに合わせ、小流量 (30slm) から大流量 (4,000slm) 対応の装置をご提供致します。
・ガス除害と粉体除去それぞれに特化したタイプがあり、お客様のニーズにお応えします。
・Panaceaの導入により、生産装置のダウンタイムの減少と燃焼除害装置のメンテナンスサイクルの向上が実現可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
湿式除害装置マイクロバブルスクラバー Panaceaシリーズ

取扱企業
株式会社東設

カテゴリ

浄化設備・装置

排ガス処理装置

洗浄剤・装置

湿式集塵機

浄化設備・装置

スクラバー

利用シーン
電子・電気機器業界用

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湿式除害装置マイクロバブルスクラバー Panaceaシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対象装置	対象ガス	ガス流量
	Panaceaシリーズ	要見積もり	ドライエッチング、CVD、エピタキシャル成長	Cl2, HF, HCl, CVD燃焼排ガス, 粉体(副生成物)	最大：~4000L/min