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湿式除害装置 マイクロバブルスクラバー Panaceaシリーズ-Panaceaシリーズ
湿式除害装置 マイクロバブルスクラバー Panaceaシリーズ-株式会社東設

湿式除害装置 マイクロバブルスクラバー Panaceaシリーズ
株式会社東設

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この製品について

マイクロバブルを使用したコンパクトで非常に高効率な湿式除害装置です。 Cl2を水のみで除害したいお客様向けのマイクロバブルスクラバーです。 ・ドライエッチング装置から排気されるCl2、F2等のハロゲン系ガスを水だけで99.7%以上除害します。 ・メタル系装置にて発生する副生成物、粉体 (2.5µm) を99%以上除去します。 ・薬剤を使わず、工場内リサイクル水での除害が可能な為、大幅なランニングコストの削減が可能です。 ・お客様の異なる製造プロセスに合わせ、小流量 (30slm) から大流量 (4,000slm) 対応の装置をご提供致します。 ・ガス除害と粉体除去それぞれに特化したタイプがあり、お客様のニーズにお応えします。 ・Panaceaの導入により、生産装置のダウンタイムの減少と燃焼除害装置のメンテナンスサイクルの向上が実現可能です。

  • シリーズ

    湿式除害装置 マイクロバブルスクラバー Panaceaシリーズ

  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用

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湿式除害装置 マイクロバブルスクラバー Panaceaシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対象装置 対象ガス ガス流量
湿式除害装置 マイクロバブルスクラバー Panaceaシリーズ-品番-Panaceaシリーズ

Panaceaシリーズ

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ドライエッチング、CVD、エピタキシャル成長

Cl2, HF, HCl, CVD燃焼排ガス, 粉体(副生成物)

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会社概要

半導体、電子デバイス、液晶メーカー向けに「自動電解めっき装置」、「排ガス除害装置」、「ウェットプロセス装置」、「脱気システム」をメインとした装置を提供している開発型装置ベンチャーです。
設計開発、製造販売だけでな...

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  • 本社所在地: 埼玉県

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