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走査透過電子顕微鏡【TENSOR】-株式会社東陽テクニカ

走査透過電子顕微鏡【TENSOR】
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この製品について

■概要

各ピクセルでの電子線回折図形を高速で記録可能な4D-STEM計測に特化

■特長

・直接検出方式のハイブリッドピクセルカメラによる回折イメージング ・2つのウィンドレスEDS検出器による、高速EDSマップ取得 (立体角 2sr) ・高速電子線プリセッション機能を標準搭載 (最高プリセッションレート：72kHz) ・静電ビームブランキング機能を統合 ・UHV に近いサンプルの真空環境 (10-6Paオーダー) ・リアルタイムに近いスピードで4D-STEMデータの解析、プロセシング、可視化が実現

■計測手法

・STEM BF/ADF/HAADFイメージング ・STEM 格子イメージング ・EDSによる組成分析・マッピング ・方位／相マッピング ・歪みマッピング ・Virtual STEMイメージング ・STEM／EDSトモグラフィー ・電子線回折トモグラフィー

  • シリーズ

    走査透過電子顕微鏡【TENSOR】

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使用用途

#元素分析 #マッピング #自動測定 #3D分析 #低真空観察 #異物分析 #高分解能観察 #試料作製 #スクリーニング分析

観察原理

透過型電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡 反射電子顕微鏡 走査透過電子顕微鏡

検出方式

二次電子検出型 反射電子検出型 X線分析型

電子源タイプ

熱電子放出型 電界放出型 シュットキー型

試料環境対応

低真空型 クライオ型 環境制御型

分解能 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 16

加速電圧 kV

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 30

倍率 倍

1 - 10 10 - 25 25 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 100,000 100,000 - 1,000,000 1,000,000 - 6,000,000

ステージ移動範囲 °

-15 - -10 -10 - 0 0 - 70 70 - 90

最大試料寸法 mm

30 - 80 80 - 200 200 - 1,500

プローブ電流 nA

0 - 10 10 - 100 100 - 500

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東陽テクニカは、1953年の創立以来、最先端の“はかる”技術のリーディングカンパニーとして、技術革新に貢献してまいりました。その事業分野は、情報通信、自動車、エネルギー、EMC (電磁環境両立性)、海洋、ソフトウェア開発...

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