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高性能触針式プロファイリングシステム DektakXT-DektakXT-E
高性能触針式プロファイリングシステム DektakXT-三弘エマテック株式会社

高性能触針式プロファイリングシステム DektakXT
三弘エマテック株式会社

三弘エマテック株式会社の対応状況

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この製品について

■特徴

・3D測定速度が従来システムの2倍以上 ・高い直進性を実現するガラスブロックゲージを採用 ・高い剛性を実現するシングルアーチ型設計 ・電気ノイズを抑制するスマートエレクトロニクスを採用 ・同一ヘッドでZ方向1nm~1mmの測定を実現 ・直感的な操作が可能なユーザーインターフェイス:Vision64 ・手動、電動のセットが選択可能 ・豊富なオプション群から必要な機能を拡張可能

■オプション部品

・サンプルチャック:様々な試料に対応したチャックラインナップ、2~3inch対応ウエハチャック、4~6inch対応ウエハチャック、8inch対応ウエハチャック、2inch対応ポーラスチャック、6inch対応ポーラスチャック ・低触圧オプション 触圧:0.03mg~:ソフトマテリアル測定や極細スタイラスの使用時に推奨 ・スタイラス:測定対象に合わせて幅広いスタイラス仕様に対応。曲率半径:2um、2.5um、5um、10um、12.5um、25um、0.2um、0.7um ・基準段差ゲージ:お客様で簡単にシステム校正が可能。校正証明書付き標準試料:段差88nm、450nm、940nm、8um 校正証明書付き標準試料 (再校正可能) :段差88nm、180nm、450nm、940nm ・防振台:手動レベリング式卓上防振台、自動レベリング式卓上防振台、デスク型防振台、コンプレッサー、真空ポンプ

■装置のアップグレード

性能をそのままに、大型ステージに対応したモデルへのアップグレードが可能です。ハンドラー付全自動測定への組み合わせも可能です。R&Dに止まらず工程管理にも幅広く対応するシステムです。

■自動ステージ

XYステージ12×12inchエンコーダ制御、360°回転

  • シリーズ

    高性能触針式プロファイリングシステム DektakXT

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年9月9日にレビュー済み

顧客対応への満足度

迅速な回答、説明があった。

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高性能触針式プロファイリングシステム DektakXT 品番3件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) メーカー 触圧レンジ Z方向分解能 段差再現性
高性能触針式プロファイリングシステム DektakXT-品番-DektakXT-E

DektakXT-E

要見積もり

ブルカージャパン (株)

1mg~15mg

0.1nm

0.4nm (30回連続測定時の1σ)

XY手動4inch

最大4inch

粗さ解析、ストレス計算、ベアリングレシオ解析、ヒストグラム解析、段差値自動計算

高性能触針式プロファイリングシステム DektakXT-品番-DektakXT-S

DektakXT-S

要見積もり

ブルカージャパン (株)

1mg~15mg

0.1nm

0.4nm (30回連続測定時の1σ)

XY手動4inch 360°回転

最大8inch

粗さ解析、ストレス計算、ベアリングレシオ解析、ヒストグラム解析、段差値自動計算

高性能触針式プロファイリングシステム DektakXT-品番-DektakXT-A

DektakXT-A

要見積もり

ブルカージャパン (株)

1mg~15mg

0.1nm

0.4nm (30回連続測定時の1σ)

XY手動4inch 360°回転

最大8inch

粗さ解析、ストレス計算、ベアリングレシオ解析、ヒストグラム解析、段差値自動計算、マルチリジョン解析、測定面積比計算、体積変動グラフ、自己相関解析、X/Y方向微分解析

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

34.7時間


企業レビュー

5.0

会社概要

三弘エマテック株式会社は、1975年に設立された、真空機器、装置等の販売を行う企業です。 「真空技術」を軸とした、ポンプや分析機器、理化学機械を取り扱います。取り扱うメーカーは200社以上あり、顧客のニーズに合わせた製...

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  • 本社所在地: 愛知県
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