高性能触針式プロファイリングシステム DektakXT 三弘エマテック株式会社

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この製品について

■特徴・3D測定速度が従来システムの2倍以上
・高い直進性を実現するガラスブロックゲージを採用
・高い剛性を実現するシングルアーチ型設計
・電気ノイズを抑制するスマートエレクトロニクスを採用
・同一ヘッドでZ方向1nm~1mmの測定を実現
・直感的な操作が可能なユーザーインターフェイス：Vision64
・手動、電動のセットが選択可能
・豊富なオプション群から必要な機能を拡張可能

■オプション部品・サンプルチャック：様々な試料に対応したチャックラインナップ、2~3inch対応ウエハチャック、4~6inch対応ウエハチャック、8inch対応ウエハチャック、2inch対応ポーラスチャック、6inch対応ポーラスチャック
・低触圧オプション 触圧：0.03mg~：ソフトマテリアル測定や極細スタイラスの使用時に推奨
・スタイラス：測定対象に合わせて幅広いスタイラス仕様に対応。曲率半径：2um、2.5um、5um、10um、12.5um、25um、0.2um、0.7um
・基準段差ゲージ：お客様で簡単にシステム校正が可能。校正証明書付き標準試料：段差88nm、450nm、940nm、8um 校正証明書付き標準試料  (再校正可能) ：段差88nm、180nm、450nm、940nm
・防振台：手動レベリング式卓上防振台、自動レベリング式卓上防振台、デスク型防振台、コンプレッサー、真空ポンプ

■装置のアップグレード性能をそのままに、大型ステージに対応したモデルへのアップグレードが可能です。ハンドラー付全自動測定への組み合わせも可能です。R＆Dに止まらず工程管理にも幅広く対応するシステムです。

■自動ステージXYステージ12×12inchエンコーダ制御、360°回転

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
高性能触針式プロファイリングシステム DektakXT

取扱企業
三弘エマテック株式会社

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高性能触針式プロファイリングシステム DektakXT 品番3件

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品番	価格 (税抜)	メーカー	触圧レンジ	Z方向分解能	段差再現性	試料ステージ	試料サイズ	制御解析ソフトウェア Vision64基本機能
DektakXT-E	要見積もり	ブルカージャパン (株)	1mg~15mg	0.1nm	0.4nm (30回連続測定時の1σ)	XY手動4inch	最大4inch	粗さ解析、ストレス計算、ベアリングレシオ解析、ヒストグラム解析、段差値自動計算
DektakXT-S	要見積もり	ブルカージャパン (株)	1mg~15mg	0.1nm	0.4nm (30回連続測定時の1σ)	XY手動4inch 360°回転	最大8inch	粗さ解析、ストレス計算、ベアリングレシオ解析、ヒストグラム解析、段差値自動計算
DektakXT-A	要見積もり	ブルカージャパン (株)	1mg~15mg	0.1nm	0.4nm (30回連続測定時の1σ)	XY手動4inch 360°回転	最大8inch	粗さ解析、ストレス計算、ベアリングレシオ解析、ヒストグラム解析、段差値自動計算、マルチリジョン解析、測定面積比計算、体積変動グラフ、自己相関解析、X/Y方向微分解析