ガス分析計：プロセスガスモニター CGM-2シリーズ
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この製品について

■製品説明・分解能：M/△M=1M  (10% P.H.) 
・電源電圧: DC24V±10％ 50W
・最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時) : 120℃
・最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時) : 250℃
・使用温度範囲: 10～40℃
・インターフェース: Ethernet
・ソフトウェア: Qulee QCS Ver.4.2以降 (Windows 8/10/11) 対応
・適合規格: CE

■用途スパッタリング装置の残留ガス分析: スパッタリング装置で生成される残留ガスの分析に使用されます。これはプロセス制御や製品品質向上に役立ちます。プロセスモニタリング: スパッタリングプロセスのモニタリングに使用され、プロセスの安定性や品質管理を支援します。不純物  (H2O) 管理: 水分の不純物管理に使用され、水分の制御が重要なプロセスにおいて役立ちます。

スパッタリング装置のリークテスト: スパッタリング装置のリークテストに使用され、密封性や漏れの確認に役立ちます。

■特徴スパッタリングプロセスに最適: この装置はスパッタリングプロセスに最適に適用できる特徴を持っています。CGMはそのプロセスの監視や管理に役立ちます。Air Leak監視: 空気漏れを監視する機能が備えられています。これは製品やプロセスの品質管理に重要な要素です。残留水分管理: 残留水分の管理を行うことができます。水分の制御は多くの製造プロセスで重要です。

プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要: プロセスモニタリングにおいて、差動排気システムが不要で、非常に低い圧力 (1Pa以下) を測定でき、スペースの節約が可能です。

高感度リークテストが可能: 特に高感度のリークテストができ、CGM2-052モデルではこの機能が提供されています。リークテストは密封性の確認や品質管理に使用されます。全圧測定が可能: 圧力の全範囲で測定が可能です。表示部一体型の設計: パソコンが不要で、本体に表示部が一体化されているため、パソコンレスで測定が可能です。

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
ガス分析計：プロセスガスモニター CGM-2シリーズ

取扱企業
三弘エマテック株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

ガス分析計

試験機器

リークテスター

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2024年9月9日にレビュー済み

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ガス分析計：プロセスガスモニター CGM-2シリーズ品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	メーカー	質量分離方式	質量数範囲 1~50 amu 1~100 amu	検出器	感度 0.1uA/Pa 0.1mA/Pa	最小検知分圧 1×10-7Pa 1×10-10Pa	最大使用圧力 2Pa 2Pa (FC) 1×10-2Pa (SEM)	リニアリティ:	全圧測定機能	DEGAS (デガス) 機能あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA	One Clickリークチェック機能あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
CGM2-051	要見積もり	(株) アルバック	四重極型質量分析計	1~50 amu	ファラデーカップ	0.1uA/Pa	1×10-7Pa	2Pa	1Pa	あり	あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA	あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
CGM2-101	要見積もり	(株) アルバック	四重極型質量分析計	1~100 amu	ファラデーカップ	0.1uA/Pa	1×10-7Pa	2Pa	1Pa	あり	-	-
CGM2-052	要見積もり	(株) アルバック	四重極型質量分析計	1~50 amu	ファラデーカップ	0.1mA/Pa	1×10-10Pa	2Pa (FC) 1×10-2Pa (SEM)	1Pa	あり	あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA	あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
CGM2-102	要見積もり	(株) アルバック	四重極型質量分析計	1~100 amu	ファラデーカップ	0.1mA/Pa	1×10-10Pa	2Pa (FC) 1×10-2Pa (SEM)	1Pa	あり	あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA	あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas