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UHV L型真空バルブ-MAV-CF-114 (P)
UHV L型真空バルブ-大和機器工業株式会社

UHV L型真空バルブ
大和機器工業株式会社

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この製品について

■特長

・メタルボンネット：ベーキング高温対応 ・UHV対応：超高真空領域 ・サービスポート：各種真空計センサー/電流導入端子取り付け ・真空装置内及び配管を小スペース内で各種導入可能にできます。 ・サイズはCF-070タイプ4ヶ所付です。 ・プリベーク処理済み品も用意可。バルブ本体は直接取り付けられ再度ベーキングの必要もありません。 ・寸法は他の標準品と同一でCF70取り付け部のみプラス50mmです。 ・タイプは手動型 (Φ150ハンドル付) ・タイプは圧力駆動型 (開閉センサー付) ・使用真空領域 大気圧～10-8Pa程度 ・リーク量5×10-11Pa-m3sec以下

  • シリーズ

    UHV L型真空バルブ

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UHV L型真空バルブ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 接続フランジ 本体 (材質) Oリング (材質) ベローズ (材質) ストローク 使用圧力範囲 リーク量 作動方式
UHV L型真空バルブ-品番-MAV-CF-114 (P)

MAV-CF-114 (P)

要見積もり

ICF114

SUS304

バイトン

溶接ベローズ (SUS304) (SUS316)

20mm

大気圧~10-8Pa

5×10-11Pa-m3/sec以下

手動/圧空式

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使用用途

#半導体製造 #液晶製造 #真空搬送

操作方式

手動式 空圧式 電動式

接続方式

フランジ接続

特殊機能

ベローズシール型 高温対応型 クリーン対応型

Cv

0 - 5 5 - 10 10 - 50

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この商品の取り扱い会社情報

大和機器工業株式会社

会社概要

大和機器工業株式会社は、産業機器メーカーです。 1970年に設立された大和機器工業株式会社は、東京都西多摩郡に本社を構えています。主な事業内容は、産業機器の製造であり、直線導入機や回転導入機などの機器を取り扱っています...

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  • 本社所在地: 東京都

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