前工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ「PLAZMARK®」ウエハ型メタルフリータイプ-PLW100SI-MF

前工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ「PLAZMARK®」ウエハ型メタルフリータイプ
株式会社サクラクレパス

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この製品について

ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、普段と同じハンドリングで、装置に設置でき、簡単に面内分布を可視化できます。放出ガスを低減し、清浄性を高めています。

■半導体製造などクリーンなプロセスに適した「メタルフリータイプ」色材に有機色材のみ採用し、金属不純物も極限まで排除しました。クリーン度の高さが要求されるプロセスでお使いいただけるように、より高次の清浄性をめざします。耐熱温度は250℃となっています。

■面内分布を簡単に評価ウエハの面内均一性を目視で確認することができます。専用の色差計を使えば、目視では確認の困難な軽微な差も認識しマッピングにより直感的に面内均一性を評価することも可能に。

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
前工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ「PLAZMARK®」ウエハ型メタルフリータイプ

取扱企業
株式会社サクラクレパス

カテゴリ

加工・工作機器

プラズマ処理装置

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プラズマ装置

メーター・計測機器

プラズマインジケーター

利用シーン
電子・電気機器業界用 / プラスチック・ゴム製造業界用 / 自動車・輸送用機器業界用

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前工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ「PLAZMARK®」ウエハ型メタルフリータイプ品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	形状ウエハ (オリフラ) ウエハ (Vノッチ)	耐熱性	構成	サイズ本体：φ4インチ膜厚：30μm 本体：φ6インチ膜厚：30μm 本体：Φ200mm 膜厚：30μm 本体：Φ300mm 膜厚：30μm	入数	略号 PLW100SI-MF PLW150SI-MF PLW200SI-MF PLW300SI-MF
PLW100SI-MF	要見積もり	ウエハ (オリフラ)	250℃	基板：シリコン検知部：有機色材、レジン	本体：φ4インチ膜厚：30μm	1枚	PLW100SI-MF
PLW150SI-MF	要見積もり	ウエハ (オリフラ)	250℃	基板：シリコン検知部：有機色材、レジン	本体：φ6インチ膜厚：30μm	1枚	PLW150SI-MF
PLW200SI-MF	要見積もり	ウエハ (Vノッチ)	250℃	基板：シリコン検知部：有機色材、レジン	本体：Φ200mm 膜厚：30μm	1枚	PLW200SI-MF
PLW300SI-MF	要見積もり	ウエハ (Vノッチ)	250℃	基板：シリコン検知部：有機色材、レジン	本体：Φ300mm 膜厚：30μm	1枚	PLW300SI-MF