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前工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ 「PLAZMARK®」 ウエハ型 メタルフリータイプ-株式会社サクラクレパス

前工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ 「PLAZMARK®」 ウエハ型 メタルフリータイプ
株式会社サクラクレパス

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この製品について

ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、普段と同じハンドリングで、装置に設置でき、簡単に面内分布を可視化できます。放出ガスを低減し、清浄性を高めています。

■半導体製造などクリーンなプロセスに適した「メタルフリータイプ」

色材に有機色材のみ採用し、金属不純物も極限まで排除しました。クリーン度の高さが要求されるプロセスでお使いいただけるように、より高次の清浄性をめざします。耐熱温度は250℃となっています。

■面内分布を簡単に評価

ウエハの面内均一性を目視で確認することができます。専用の色差計を使えば、目視では確認の困難な軽微な差も認識しマッピングにより直感的に面内均一性を評価することも可能に。

  • シリーズ

    前工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ 「PLAZMARK®」 ウエハ型 メタルフリータイプ

  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用 / プラスチック・ゴム製造業界用 / 自動車・輸送用機器業界用

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会社概要

株式会社サクラクレパスは総合文具、描画材のメーカーです。
大正10年に「日本クレィヨン商會」の社名で創業し、製品名「櫻クレィヨン」の製造と販売を開始しました。国花である“さくら”の名称と図柄を製品に冠したのは、...

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  • 本社所在地: 大阪府

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