後工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ「PLAZMARK®」ウエハ型セラミックタイプ-PLW100SI

後工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ「PLAZMARK®」ウエハ型セラミックタイプ
株式会社サクラクレパス

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この製品について

ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、普段と同じハンドリングで、装置に設置でき、簡単に面内分布を可視化できます。放出ガスを低減し、清浄性を高めています。

■製品ラインナップの中でNo.1の耐熱性を持つ「セラミックタイプ」無機色材のみをウエハ上に形成し、耐熱性を400℃まで高めました。高温プロセスでも安心してご使用いただけます。クリーンな設計でLEDやMEMSなどの工程に最適です。

■面内分布を簡単に評価ウエハの面内均一性を目視で確認することができます。専用の色差計を使えば、目視では確認の困難な軽微な差も認識しマッピングにより直感的に面内均一性を評価することも可能に。

型番
この商品には5種類の型番があります

シリーズ
後工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ「PLAZMARK®」ウエハ型セラミックタイプ

取扱企業
株式会社サクラクレパス

カテゴリ

加工・工作機器

プラズマ処理装置

加工・工作機器

プラズマ装置

メーター・計測機器

プラズマインジケーター

利用シーン
自動車・輸送用機器業界用 / 電子・電気機器業界用 / 医療業界用

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後工程のプラズマ確認にプラズマインジケータ「PLAZMARK®」ウエハ型セラミックタイプ品番5件

フィルター

品番	価格 (税抜)	形状ウエハ (オリフラ) ウエハ (Vノッチ)	耐熱性	構成基板：シリコン検知部：無機色材基板：サファイア検知部：無機色材	サイズ本体：φ4インチ膜厚：5μm 本体：φ6インチ膜厚：5μm 本体：Φ200mm 膜厚：10μm	入数	略号 PLW100SI PLW150SI PLW100SA PLW150SA PLW200SI
PLW100SI	要見積もり	ウエハ (オリフラ)	400℃	基板：シリコン検知部：無機色材	本体：φ4インチ膜厚：5μm	1枚	PLW100SI
PLW150SI	要見積もり	ウエハ (オリフラ)	400℃	基板：シリコン検知部：無機色材	本体：φ6インチ膜厚：5μm	1枚	PLW150SI
PLW100SA	要見積もり	ウエハ (オリフラ)	400℃	基板：サファイア検知部：無機色材	本体：φ4インチ膜厚：5μm	1枚	PLW100SA
PLW150SA	要見積もり	ウエハ (オリフラ)	400℃	基板：サファイア検知部：無機色材	本体：φ6インチ膜厚：5μm	1枚	PLW150SA
PLW200SI	要見積もり	ウエハ (Vノッチ)	400℃	基板：シリコン検知部：無機色材	本体：Φ200mm 膜厚：10μm	1枚	PLW200SI