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移動ロードロックシステム CEX-2420-CEX-2420
移動ロードロックシステム CEX-2420-株式会社コメット

移動ロードロックシステム CEX-2420
株式会社コメット

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この製品について

コンビナトリアル・スパッタ装置CMS-6420間、あるいは、パスカル社製PLD装置間で、大気暴露なしに成膜試料を超高真空下で移載搬送できます。L/L室と接続ポート部は、独立したターボ分子ポンプで排気され、試料を常に超高真空下に持ちます。 スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを備え、各試料ホルダーへの試料の移載が可能です。無停電電源でバックアップされ、30分以上の移動時の無通電可動が可能です。

  • シリーズ

    移動ロードロックシステム CEX-2420

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移動ロードロックシステム CEX-2420 品番1件

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CEX-2420

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使用用途

#組立工程 #加工工程 #検査工程 #包装工程 #搬入搬出

搬送原理

コンベヤ式 ローラー式 空気浮上式 マグネット式

駆動方式

電動モータ駆動 空圧駆動 油圧駆動 手動式

搬送対象

製品搬送用 パレット搬送用 ワーク搬送用 クリーン搬送用

搬送経路

直線搬送 曲線・分岐搬送 垂直搬送

用途・業界

製造業向け 物流・倉庫向け 食品業界向け

搬送能力 kg

100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 50,000 50,000 - 100,000

走行速度 m/min

10 - 30 30 - 60 60 - 150

電源電圧 V

20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社コメット

会社概要

株式会社コメットは、コンビナトリアル成膜技術を駆使して、新規機能性材料の開発をお手伝いする会社です。

　株式会社コメットは、国立研究開発法人　物質・材料研究機構(NIMS)発の認定ベンチャーとして設立さ...

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  • 本社所在地: 茨城県

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