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精密平面度測定装置 SF-640M取扱企業
黒田精工株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定範囲 (X × Y) | 総合測定精度 | 繰り返し精度 | 表示分解能 | 測定ヘッド | 最小データ間隔 | 測定速度 | 軸・ガイド | 駆動方式 | 最大ワーク質量 | 外観寸法 | 本体質量 | 必要電源 | 必要圧縮空気 | 空気流量 | 最大ワーク高さ | 設置環境 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
SF-640M |
要見積もり |
650mm × 450mm |
0.6μm |
0.1μm |
0.01μm |
非接触レーザ変位計、電気マイクロメータ |
1μm |
0.5 ~ 50mm/sec |
セラミックス製エアガイド |
X軸：リニアモータ Y軸：サーボモータ |
40kg |
W1,820mm × D1,200mm × H1,550mm |
1,000kg |
AC200V (50/60Hz) 15A |
クリーンドライエア 0.5MPa |
100L/min (ANR) |
50mm |
室温：20℃ ~ 25℃ (変動は1℃以下の事) 床強度：耐荷重9,800N/m2以上 |
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使用用途
#研磨盤測定 #基板ウェハ測定 #形状測定 #供試体測定 #フィルム測定 #ガラス測定 #平行度測定 #微小形状測定測定方式
接触式 非接触式 干渉式 空気マイクロメータ式測定機構
表面粗さ測定機型 三次元測定機型 光学プロファイラ型測定精度
ミクロン精度型 サブミクロン精度型 ナノ精度型表示方式
アナログ表示型 デジタル表示型 グラフィック表示型 三次元カラー表示型精度 mm
0.01 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 1本体重量 kg
0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 7,000 7,000 - 16,000分解能 μm
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1電源 V
90 - 120 120 - 150 150 - 180 180 - 210 210 - 240 240 - 270
