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ナノメトロ® 700FR-700FR
ナノメトロ® 700FR-黒田精工株式会社

ナノメトロ® 700FR
黒田精工株式会社



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この製品について

■セラミックプレートなど大型の円盤の平面度を高精度に測定

回転エアテーブルを搭載し、ウェーハポリッシュ用セラミックプレートや、ラッピング用テーブルなどφ1,000mmまでの円盤の表面形状が測定できます。詳細評価用の同心円状測定や、概略評価用の放射状測定など各種の測定に対応したソフトウェアを用意しています。 特徴

■高精度な運動機構

回転エアテーブルを搭載し、X軸にクロダの精密加工技術によるエアスライダを採用したリニアサーボ駆動。φ1,000までの円盤の表面形状を高速、高精度に測定可能です。

■各種ワークの評価が可能

ご要望の評価項目、対象物に応じて最適な測定ヘッドを選択可能。ワークに合わせて変位計を選定させていただきます (接触/非接触) 。金属、セラミックス、ガラス、各種ウェーハなど多様なワークの測定に対応します。

■用途に応じた評価方法

・同心円測定:測定範囲、ピッチ、回転数の設定が可能。測定範囲内を同心円状に測定。詳細評価に最適。 ・放射状測定:任意に設定した角度で放射状に測定。短時間で形状把握する概略評価に最適。

■簡単操作で豊富な表示解析

自社開発のソフトウェアにより、ご要望に応じた測定結果の表示・解析が可能。任意の測定ピッチ設定が可能なため、対象ワークサイズに応じて自由度の高い測定が行えます。独自の解析システムが高精度な再現性を実現します。

■各種カスタマイズに対応

ハード、ソフトともに自社設計のため、ご要望に応じてカスタマイズ可能です。最適な測定ソリューションを提供します。

  • シリーズ

    ナノメトロ® 700FR

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ナノメトロ® 700FR 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定範囲 総合測定精度 繰り返し測定精度 表示分解能 測定ヘッド 最大測定速度 (X 軸) 軸・ガイド 駆動方式 最大ワーク質量
ナノメトロ® 700FR-品番-700FR

700FR

要見積もり

φ700mm (max.)

0.4μm

0.05μm (σ)

0.01μm

電気マイクロメータ

35mm/s

X : セラミックス製エアガイド ϴ : エアベアリング

X : リニアモータ ϴ : サーボモータ

60kg

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使用用途

#研磨盤測定 #基板ウェハ測定 #形状測定 #供試体測定 #フィルム測定 #ガラス測定 #平行度測定 #微小形状測定

測定方式

接触式 非接触式 干渉式 空気マイクロメータ式

測定機構

表面粗さ測定機型 三次元測定機型 光学プロファイラ型

測定精度

ミクロン精度型 サブミクロン精度型 ナノ精度型

表示方式

アナログ表示型 デジタル表示型 グラフィック表示型 三次元カラー表示型

精度 mm

0.01 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 1

本体重量 kg

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 7,000 7,000 - 16,000

分解能 μm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1

電源 V

90 - 120 120 - 150 150 - 180 180 - 210 210 - 240 240 - 270

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

黒田精工株式会社は、神奈川県川崎市に本社を置く、精密機器および精密機械の製造販売を行う企業である。 1925年、東京都大田区に「黒田挾範製作所」を創業、1949年に「株式会社黒田挾範製作所」として設立。本社移転や米国へ拠...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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