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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ウエハサイズ mm | 繰返し位置精度 高精細モード | 繰返し位置精度 ノーマルモード | アライメント時間 高精細モード | アライメント時間 ノーマルモード | クリーン度 | 本体質量 kg | 必要諸源 電源 | 設置環境 温度 | 設置環境 湿度 | 繰返し位置精度 | アライメント時間 | 必要諸源 真空 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
EG-303 |
要見積もり |
300 |
XY: ±0.05mm θ: ±0.075° |
XY: ±0.2mm θ: ±0.1° |
Average 7.5sec. |
Average 3.5sec. |
ISO Class 3 (ISO-14644) |
7 |
24 VDC 3A |
0-40℃ |
70% or less (No condensation) |
- | - | - | |
|
OFH-4100 |
要見積もり |
200-300 |
- | - | - | - |
ISO Class 3 (ISO-14644) |
8 |
24 VDC 3A |
15-25℃ |
60% or less (No condensation) |
XY方向：各±0.1mm、θ方向：±0.2° |
1.8sec. |
-80KPag or less, 10NL/min |
|
|
|
OFH-4101 |
要見積もり |
150-200 |
- | - | - | - |
ISO Class 3 (ISO-14644) |
8 |
24 VDC 3A |
15-25℃ |
60% or less (No condensation) |
XY方向：各±0.1mm、θ方向：±0.2° |
1.8sec. |
-80KPag or less, 10NL/min |
|
|
|
OFH-4102 |
要見積もり |
100-200 |
- | - | - | - |
ISO Class 3 (ISO-14644) |
8 |
24 VDC 3A |
15-25℃ |
60% or less (No condensation) |
XY方向：各±0.1mm、θ方向：±0.2° |
1.8sec. |
-80KPag or less, 10NL/min |
|
|
|
OFH-4103 |
要見積もり |
50-150 |
- | - | - | - |
ISO Class 3 (ISO-14644) |
8 |
24 VDC 3A |
15-25℃ |
60% or less (No condensation) |
XY方向：各±0.1mm、θ方向：±0.2° |
1.8sec. |
-80KPag or less, 10NL/min |
