ウエハアライナ EG-303 シリーズ 品番5件
各品番毎の詳細は品番をクリックしてください
| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ウエハサイズ mm | 繰返し位置精度 高精細モード | 繰返し位置精度 ノーマルモード | アライメント時間 高精細モード | アライメント時間 ノーマルモード | クリーン度 | 本体質量 kg | 必要諸源 電源 | 設置環境 温度 | 設置環境 湿度 | 繰返し位置精度 | アライメント時間 | 必要諸源 真空 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
EG-303 |
要見積もり | 300 | XY: ±0.05mm θ: ±0.075° | XY: ±0.2mm θ: ±0.1° | Average 7.5sec. | Average 3.5sec. | ISO Class 3 (ISO-14644) | 7 | 24 VDC 3A | 0-40℃ | 70% or less (No condensation) | - | - | - | |
|
OFH-4100 |
要見積もり | 200-300 | - | - | - | - | ISO Class 3 (ISO-14644) | 8 | 24 VDC 3A | 15-25℃ | 60% or less (No condensation) | XY方向：各±0.1mm、θ方向：±0.2° | 1.8sec. | -80KPag or less, 10NL/min | |
|
|
OFH-4101 |
要見積もり | 150-200 | - | - | - | - | ISO Class 3 (ISO-14644) | 8 | 24 VDC 3A | 15-25℃ | 60% or less (No condensation) | XY方向：各±0.1mm、θ方向：±0.2° | 1.8sec. | -80KPag or less, 10NL/min | |
|
|
OFH-4102 |
要見積もり | 100-200 | - | - | - | - | ISO Class 3 (ISO-14644) | 8 | 24 VDC 3A | 15-25℃ | 60% or less (No condensation) | XY方向：各±0.1mm、θ方向：±0.2° | 1.8sec. | -80KPag or less, 10NL/min | |
|
|
OFH-4103 |
要見積もり | 50-150 | - | - | - | - | ISO Class 3 (ISO-14644) | 8 | 24 VDC 3A | 15-25℃ | 60% or less (No condensation) | XY方向：各±0.1mm、θ方向：±0.2° | 1.8sec. | -80KPag or less, 10NL/min |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
株式会社ダイヘンのその他の取り扱い製品
ダイヘンの製品をもっと見る
