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半導体評価装置 外部量子効率測定用マニュアルプローバー MMPS-50EQE-MMPS-50EQE
半導体評価装置 外部量子効率測定用マニュアルプローバー MMPS-50EQE-株式会社睦コーポレーション

半導体評価装置 外部量子効率測定用マニュアルプローバー MMPS-50EQE
株式会社睦コーポレーション

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この製品について

■商品説明

本装置は、LEDなどの微小発光素子における外部量子効率 (EQE: External Quantum Efficiency) を測定するためのマニュアルプローバーです。特に、ウェハレベルで形成されたLED素子の光学特性評価に最適化されており、研究開発から製造プロセスの評価に至るまで、信頼性の高い測定データの取得を可能にします。 本システムでは、顕微鏡による高倍率観察を行いながら、プローブ針を正確にLED素子の電極へ当接させることができます。電流を印加して素子を発光させ、裏面側から放射される前方光 (2π方向) を積分球に効率よく取り込み、分光器を用いて波長ごとの分光放射束 (2π) を定量的に測定します。得られたスペクトルデータに基づいて光子数を算出し、印加電流とあわせて外部量子効率を導出します。

  • シリーズ

    半導体評価装置 外部量子効率測定用マニュアルプローバー MMPS-50EQE

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半導体評価装置 外部量子効率測定用マニュアルプローバー MMPS-50EQE 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) サンプルサイズ プローブ針 (同軸針) ポジショナ XY軸 移動範囲 Z軸 移動範囲 実体顕微鏡 積分球 ベースプレート
半導体評価装置 外部量子効率測定用マニュアルプローバー MMPS-50EQE-品番-MMPS-50EQE

MMPS-50EQE

要見積もり

20mm×20mm以下

材質:タングステン
先端半径:12.5μm

XYZ軸移動範囲:各10mm
トラベル量:各250μm回転
数量:2個

X, Y各±25mm

4mm

倍率:10倍~65倍
照明:LEDリング照明

波長範囲:200nm~2,500nm
積分球直径 (内部) :38.1mm
コーティング:スペクトラロン

サイズ:300mm×300mm

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使用用途

#RF測定 #インピーダンス測定 #オプトエレクトロニクス測定 #サブテラヘルツ測定 #ハイパワー測定 #ロードプル測定 #温度特性評価 #故障解析 #信頼性試験 #微小電流測定

接触方式

メカニカルコンタクト型 マイクロコンタクト型

操作方式

手動型 半自動型

対応ウェーハサイズ

小型対応型 中型対応型 大型対応型

プローブユニット構成

マルチプローブ型 プローブカード型

対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1,100

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会社概要

株式会社睦コーポレーションは理化学機器の製造及び販売や輸出入を手掛けている企業です。 1996年に前身である合資会社睦美産業を母体として設立されました。その後、2波長用レーザ顕微鏡や顕微イメージ分光装置など、さまざまな...

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  • 本社所在地: 愛知県

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