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半導体評価装置 光学特性測定用マニュアルプローバー MMP-ILS01-MMP-ILS01
半導体評価装置 光学特性測定用マニュアルプローバー MMP-ILS01-株式会社睦コーポレーション

半導体評価装置 光学特性測定用マニュアルプローバー MMP-ILS01
株式会社睦コーポレーション



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この製品について

■商品説明

LED、レーザダイオード、VCSEL等の発光素子の光学特性をウェハレベルで測定するための電気的、光学的プロービング装置です。顕微鏡で観察しながら、ウェハ上の電極に対して、針を当てて、電流を流して、発光素子の光学特性測定 (I-V測定 I-L測定 V-L測定 スペクトル測定) を行うために、必要な顕微鏡、プローバー、光検出器、光プローブ等で構成されています。

■特徴

・高解像度実体顕微鏡により、プロービングが簡単。 ・スペクトル測定用光ファイバプローブを発光点に近接できるため、微弱光の計測が可能。 ・光学特性計測は、上部及び下部の2方向での測定ができます。 ・マニュピレータは、着磁性プレート付なので、リングプレートの自由な位置に固定できます。 ・発光観察高感度カメラにより発光を実時間観測可能です。 ・リングプレートといっしょにプローブ針がレーバーで簡単に上下移動できます。

  • シリーズ

    半導体評価装置 光学特性測定用マニュアルプローバー MMP-ILS01

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半導体評価装置 光学特性測定用マニュアルプローバー MMP-ILS01 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 試料ステージ部 試料サイズ 試料ステージ部 測定面プレート材料 試料ステージ部 試料台ストローク 試料ステージ部 ハンドル1回転の移動量 マニュピレータ部 プローブ針 マニュピレータ部 ストローク マニュピレータ部 移動量 マニュピレータ部 キャリア マニュピレータ部 マニュピレータ数量 マニュピレータ部 リングプレート 材質 下部検出ステージ部 検出器切替ストローク 下部検出ステージ部 位置決め移動量 下部検出ステージ部 位置決めマイクロメータ最小読取 上部検出ステージ部 位置決め移動量 上部検出ステージ部 位置決めマイクロメータ最小読取 上部検出ステージ部 数量 光強度検出器 感度波長範囲 光強度検出器 受光面サイズ 光強度検出器 受光感度 光強度検出器 信号出力 光強度検出器 検出ヘッド数量 光強度検出器 電源容量 スペクトル測定用ファイバプローブ ファイバ種類 スペクトル測定用ファイバプローブ 波長範囲 スペクトル測定用ファイバプローブ コア径 スペクトル測定用ファイバプローブ ファイバ端末 スペクトル測定用ファイバプローブ 数量 顕微鏡部 観察倍率 顕微鏡部 ズーム比 顕微鏡部 観察範囲
半導体評価装置 光学特性測定用マニュアルプローバー MMP-ILS01-品番-MMP-ILS01

MMP-ILS01

要見積もり

30mmφ以下

合成石英

X軸:60mm Y軸:100mm

X軸:粗動20mm 微動 約2.6mmY軸:粗動18mm 微動 約2.3mm

タングステンカーバイト針

X、Y、Z軸各10mm

X、Y、Z軸各500μm/回転

着磁性プレート付

3台

着磁性SUS

60mm

XY軸:13mm Z軸:10mm

10μm目盛

XY軸:13mm Z軸:10mm

10μm目盛

2台

190~1,100nm

10×10mm

0.12A/W (typ @200nm)

100,000V/A,76,700V/A,50,000V/A,24,800V/A,10,700V/A (typ) 切替

上部 1個/下部 1個

AC100V 0.6A

純粋石英SI

200nm~900nm

600μm

上部ファイバ:片端φ3mm×30mmスリーブ
片端SMAコネクタ下部ファイバ:両端SMAコネクタ

上部 1本/下部 1本

7X~115X

16.4

φ31.4~φ1.9mm

フィルターから探す

プローバーをフィルターから探すことができます

使用用途

#RF測定 #インピーダンス測定 #オプトエレクトロニクス測定 #サブテラヘルツ測定 #ハイパワー測定 #ロードプル測定 #温度特性評価 #故障解析 #信頼性試験 #微小電流測定

接触方式

メカニカルコンタクト型 マイクロコンタクト型

操作方式

手動型 半自動型

対応ウェーハサイズ

小型対応型 中型対応型 大型対応型

プローブユニット構成

マルチプローブ型 プローブカード型

対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1,100

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社睦コーポレーションは理化学機器の製造及び販売や輸出入を手掛けている企業です。 1996年に前身である合資会社睦美産業を母体として設立されました。その後、2波長用レーザ顕微鏡や顕微イメージ分光装置など、さまざまな...

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  • 本社所在地: 愛知県

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