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半導体評価装置 マニュアルプローバー MMPS-50-MMPS-50
半導体評価装置 マニュアルプローバー MMPS-50-株式会社睦コーポレーション

半導体評価装置 マニュアルプローバー MMPS-50
株式会社睦コーポレーション

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この製品について

■商品説明

本製品は、半導体デバイスのI-V特性 (電流-電圧特性) などの電気特性を評価するためのマニュアルプローバーです。プローバーとは、ウェハーレベルで、ウェハ上に形成されたIC、LSI、トランジスタ、ダイオードなどの素子の電極にプローブ (針) を接触させ、電気的な測定・評価を行う装置です。 本装置は、顕微鏡で観察しながらウェハ上の電極に正確にプローブを当てることができ、安定した電気接触による高精度な測定が可能です。IV特性測定、抵抗測定、コンタクトチェックなど、半導体デバイスの研究・開発・品質評価に広く対応します。 構成は、マニュアル昇降式のプラテン、XYZ軸調整可能なマニピュレータ、実体顕微鏡、真空吸着式のサンプルチャックを備えたXY可動ステージなどで構成されており、さまざまな測定器 (ソースメジャーユニット、マルチメータなど) と組み合わせて使用することができます。

  • シリーズ

    半導体評価装置 マニュアルプローバー MMPS-50

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半導体評価装置 マニュアルプローバー MMPS-50 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) サンプルステージ プラテン プローブ針 マニピュレータ 実体顕微鏡 真空ポンプ ベースプレート
半導体評価装置 マニュアルプローバー MMPS-50-品番-MMPS-50

MMPS-50

要見積もり

ウェハサイズ:~2インチ
XY軸 移動範囲:各±25mm
真空吸着固定機能あり

昇降可
移動範囲:4mm

材質:タングステン
先端半径:12.5μm
数量:2本

XYZ軸移動範囲:各10mm
トラベル量:各250μm回転
数量:2個

倍率:7倍~45倍
照明:LEDリング照明

ウェハ吸着固定用・リリーフバルブ付属

サイズ:300mm×300mm

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使用用途

#RF測定 #インピーダンス測定 #オプトエレクトロニクス測定 #サブテラヘルツ測定 #ハイパワー測定 #ロードプル測定 #温度特性評価 #故障解析 #信頼性試験 #微小電流測定

接触方式

メカニカルコンタクト型 マイクロコンタクト型

操作方式

手動型 半自動型

対応ウェーハサイズ

小型対応型 中型対応型 大型対応型

プローブユニット構成

マルチプローブ型 プローブカード型

対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1,100

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株式会社睦コーポレーション

会社概要

株式会社睦コーポレーションは理化学機器の製造及び販売や輸出入を手掛けている企業です。 1996年に前身である合資会社睦美産業を母体として設立されました。その後、2波長用レーザ顕微鏡や顕微イメージ分光装置など、さまざまな...

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  • 本社所在地: 愛知県

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