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半導体評価装置 光学特性測定用マニュアルプローバー MMPS-50-IVLS-MMPS-50-IVLS
半導体評価装置 光学特性測定用マニュアルプローバー MMPS-50-IVLS-株式会社睦コーポレーション

半導体評価装置 光学特性測定用マニュアルプローバー MMPS-50-IVLS
株式会社睦コーポレーション



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この製品について

■商品説明

裏面発光タイプの光半導体デバイスのI-V-L (電流-電圧-光出力) 特性及び、発光スペクトルを測定するためのマニュアルプローバーです。 プローバーとは、ウェハーレベルで、ウェハ上に製作されたIC、LSI、LED、LD等の素子の電極に、プローブ (針) を当てて、電気的、光学的な検査を行う装置です。弊社のプローバーは、特に光学特性を測定することができることが特徴です。LED、レーザダイオード、VCSEL等の発光素子の光学特性をウェハレベルで測定することが可能です。顕微鏡で観察しながら、ウェハ上の電極に対して、針を当てて、電流を流して、発光素子の光学特性測定 (I-V測定、I-L測定、V-L測定、スペクトル測定) を行うために、必要な顕微鏡、プローバー、光検出器、光プローブ等で構成されています。

  • シリーズ

    半導体評価装置 光学特性測定用マニュアルプローバー MMPS-50-IVLS

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半導体評価装置 光学特性測定用マニュアルプローバー MMPS-50-IVLS 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) サンプルステージ プラテン プローブ針 (同軸針) マニピュレータ 実体顕微鏡 光検出部 ベースプレート
半導体評価装置 光学特性測定用マニュアルプローバー MMPS-50-IVLS-品番-MMPS-50-IVLS

MMPS-50-IVLS

要見積もり

ウェハサイズ:~2インチ
XY軸 移動範囲:各±20mm

昇降可 移動範囲:4mm

材質:タングステン
先端半径:12.5μm
数量:2本

XYZ軸移動範囲:各10mm
トラベル量:各250μm回転
数量:2個

倍率:7倍~45倍
照明:LEDリング照明

1 フォトダイオード
2 光ファイバプローブヘッド

サイズ:300mm×300mm

フィルターから探す

プローバーをフィルターから探すことができます

使用用途

#RF測定 #インピーダンス測定 #オプトエレクトロニクス測定 #サブテラヘルツ測定 #ハイパワー測定 #ロードプル測定 #温度特性評価 #故障解析 #信頼性試験 #微小電流測定

接触方式

メカニカルコンタクト型 マイクロコンタクト型

操作方式

手動型 半自動型

対応ウェーハサイズ

小型対応型 中型対応型 大型対応型

プローブユニット構成

マルチプローブ型 プローブカード型

対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1,100

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社睦コーポレーションは理化学機器の製造及び販売や輸出入を手掛けている企業です。 1996年に前身である合資会社睦美産業を母体として設立されました。その後、2波長用レーザ顕微鏡や顕微イメージ分光装置など、さまざまな...

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  • 本社所在地: 愛知県

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