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レーザークリーナー (レーザー洗浄機) UVレーザークリーナー取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | レーザー発振波長 | 繰り返し周波数 | スポット径 | 最大照射エリア (f=430mmのfθレンズの場合) | 最大照射エリア (NA0.3レンズの場合) | 動作温度 | 外形寸法 (本体) | 外形寸法 (電源ユニット) | 外形寸法 (チラーユニット) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
uvlc |
要見積もり |
355 nm |
20 kHz ~ 200 kHz |
0.48 μm (NA0.9の対物レンズ使用時) |
極微細用対物レンズユニット未装着時 |
極微細用対物レンズユニット装着時 |
15℃ ~ 30℃ |
W400 mm × H650 mm × D1,050 mm |
W200 mm × H450 mm × D600 mm |
W280 mm × H420 mm × D600 mm |
