レーザークリーナー (レーザー洗浄機) UVレーザークリーナー
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この製品について

UVレーザーは光子エネルギーが大きく、被照射面で分子結合が直接解離する光分解加工を起こします。本製品は、この光分解加工原理を用いた汚れ除去が特長の一つで、熱分解加工と比べ、表面の汚れ加工残渣を少なくシャープに仕上げ、母材へのダメージを最小限に抑えることが可能です。

特にUVレーザーを用いることで無機物質上の有機物 (油、レジスト等) や紫外線で分解しやすい物の汚れを効果的に除去できます。又、ガルバノスキャナーを介した対物レンズの集光で、数μm以下の微細スポット径を形成し、ピンポイントで限定的なクリーニングも可能です。対物レンズユニットを取り外すことで、300 mm角エリア迄のクリーニングも可能です。

■構成・UVレーザー発振器
・ガルバノスキャナーミラー
・極微細用対物レンズユニット
・冷却チラー
・マーキングソフト
・モニタソフト
マーキングソフトを利用しているので、日本語やバーコード入力、CADや写真等も直接取り込みマーカーとして利用することも出来ます。

■用途金属、半導体、無機物質上の有機物 (油、レジスト等) 、有機絶縁膜、紫外線分解後の物質汚れ除去等

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
レーザークリーナー (レーザー洗浄機) UVレーザークリーナー

取扱企業
株式会社光響

カテゴリ

洗浄剤・装置

レーザークリーナー

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レーザークリーナー (レーザー洗浄機) UVレーザークリーナー品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	レーザー発振波長	繰り返し周波数	スポット径	最大照射エリア (f=430mmのfθレンズの場合)	最大照射エリア (NA0.3レンズの場合)	動作温度	外形寸法 (本体)	外形寸法 (電源ユニット)	外形寸法 (チラーユニット)
	uvlc	要見積もり	355 nm	20 kHz ~ 200 kHz	0.48 μm (NA0.9の対物レンズ使用時) 1.4 μm (NA0.3の対物レンズ使用時)	極微細用対物レンズユニット未装着時 300 mm × 300 mm (f=430mmのfθレンズの場合)	極微細用対物レンズユニット装着時 1.6 mm × 1.2 mm (NA0.3レンズの場合)	15℃ ~ 30℃	W400 mm × H650 mm × D1,050 mm	W200 mm × H450 mm × D600 mm	W280 mm × H420 mm × D600 mm