レーザークリーナー (レーザー洗浄機) UVレーザークリーナー-uvlc
レーザークリーナー (レーザー洗浄機) UVレーザークリーナー-株式会社光響

レーザークリーナー (レーザー洗浄機) UVレーザークリーナー
株式会社光響

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この製品について

UVレーザーは光子エネルギーが大きく、被照射面で分子結合が直接解離する光分解加工を起こします。本製品は、この光分解加工原理を用いた汚れ除去が特長の一つで、熱分解加工と比べ、表面の汚れ加工残渣を少なくシャープに仕上げ、母材へのダメージを最小限に抑えることが可能です。 特にUVレーザーを用いることで無機物質上の有機物 (油、レジスト等) や紫外線で分解しやすい物の汚れを効果的に除去できます。又、ガルバノスキャナーを介した対物レンズの集光で、数μm以下の微細スポット径を形成し、ピンポイントで限定的なクリーニングも可能です。対物レンズユニットを取り外すことで、300 mm角エリア迄のクリーニングも可能です。

■構成

・UVレーザー発振器 ・ガルバノスキャナーミラー ・極微細用対物レンズユニット ・冷却チラー ・マーキングソフト ・モニタソフト マーキングソフトを利用しているので、日本語やバーコード入力、CADや写真等も直接取り込みマーカーとして利用することも出来ます。

■用途

金属、半導体、無機物質上の有機物 (油、レジスト等) 、有機絶縁膜、紫外線分解後の物質汚れ除去等

  • シリーズ

    レーザークリーナー (レーザー洗浄機) UVレーザークリーナー

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レーザークリーナー (レーザー洗浄機) UVレーザークリーナー 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) レーザー発振波長 繰り返し周波数 スポット径 最大照射エリア (f=430mmのfθレンズの場合) 最大照射エリア (NA0.3レンズの場合) 動作温度 外形寸法 (本体) 外形寸法 (電源ユニット) 外形寸法 (チラーユニット)
レーザークリーナー (レーザー洗浄機) UVレーザークリーナー-品番-uvlc

uvlc

要見積もり 355 nm 20 kHz ~ 200 kHz 0.48 μm (NA0.9の対物レンズ使用時)
1.4 μm (NA0.3の対物レンズ使用時)
極微細用対物レンズユニット未装着時
300 mm × 300 mm (f=430mmのfθレンズの場合)
極微細用対物レンズユニット装着時
1.6 mm × 1.2 mm (NA0.3レンズの場合)
15℃ ~ 30℃ W400 mm × H650 mm × D1,050 mm W200 mm × H450 mm × D600 mm W280 mm × H420 mm × D600 mm

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社光響は、2009年に設立された光学関連製品販売メーカーです。2023年7月東証(TOKYO PRO Market)に上場。

本社を京都に置き、電子情報通信学会や大阪大学先端科学イノベーションセン...

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  • 本社所在地: 京都府
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