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IVL測定モジュール PMD002/IVL-PMD002/IVL
IVL測定モジュール PMD002/IVL-シナジーオプトシステムズ株式会社

IVL測定モジュール PMD002/IVL
シナジーオプトシステムズ株式会社

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この製品について

■概要

IVL測定モジュール PMD002/IVLは、半導体レーザやVCSEL等発光素子のIVL特性を簡単 に測定可能な測光モジュールです。センサは18mm角大口径フォトダイオードを使用、広い放射角をカバーできます。 小型軽量のIVL測定センサヘッドは、単体での使用の他、 当社製高機能NFP計測光学系 M-Scope type Sの対物レンズレボルバにも装着が可能です。また、プローバへの搭載・組合せによって、VCSEL等のウエハレベルIVL測定にも使用できます。

■特長

・18mm角大型Siフォトダイオードを使用。広いN.A.をカバー。 ・減光フィルタの併用で広い測定パワーレンジ。 ・当社製高機能NFP計測光学系M-Scope type Sの手動レボルバ部に装着が可能。 ・プローバシステムへの装着と使用が可能。ウェハレベルでVCSELのIVL計測に対応可能。

■主な応用

各種発光素子のIVL特性の解析

  • シリーズ

    IVL測定モジュール PMD002/IVL

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IVL測定モジュール PMD002/IVL 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 計測方式 計測波長域 最大感度波長 (λp) 受光感度 (λ=λp) ワーキングディスタンス N.A. 受光N.A. 測定レンジ (at 940nm)
IVL測定モジュール PMD002/IVL-品番-PMD002/IVL

PMD002/IVL

要見積もり

大面積SiPD素子＋ソースメジャメントユニット

340nm~1,000nm：PMD002/IVL VIS

960nm

0.66W

約10mm

約±30° (計測対象光束径約10μmφの場合)

0.4

~15mW (ND：無)
~95mW (ND：10％)
~770mW (ND：0.5％)

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使用用途

#表面検査 #位置計測 #形状測定 #反射評価 #透過評価 #分光分析 #アライメント調整

測定原理

干渉法 反射法 透過法

機能

三次元測定 高速測定

波長範囲 nm

0 - 200 200 - 400 400 - 700 700 - 1,000 1,000 - 2,000

データ保存 件

50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 10,000

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  • 本社所在地: 静岡県

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