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光導波路光学特性測定装置-光導波路光学特性測定装置
光導波路光学特性測定装置-シナジーオプトシステムズ株式会社

光導波路光学特性測定装置
シナジーオプトシステムズ株式会社

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この製品について

■概要

光導波路光学特性測定装置は、光導波路デバイスの挿入損失・NFP・FFP・偏光などの光学特性を測定する装置です。シリコンフォトニクス導波路やシングルモード光導波路、マルチモード光導波路等各種光導波路デバイスの挿入損失を自動測定、さらに最適調芯点でのNFPやFFP等発光パターン計測や偏光消光比計測等の光学特性測定が可能です。 調芯方式は、当社の入射側・出射側光計測用光学系を使用した光学系方式を使用します。画像検出器による画像調芯と光パワーメータによるパワー調芯の連動方式により、サンプルの傾き補正、初期調整、自動調芯による挿入損失測定までを効率よく高速に行うことができます。さらに、自動調芯により求められた最適調芯点を記憶し、最適調芯位置における出射側NFP、FFP、偏光等の光学諸特性を連動して効率よく計測することができます。 特長

■当社製偏光依存性対策型簡易型光計測用光学系M-Scope type J/PFを搭載した、光学系方式挿入損失測定

・コア端面同軸観察用画像検出器を搭載。対象物を直接観察しながら測定光の入射・出射光の受光が容易に可能。 ・偏光依存性対策光ファイバ接続ポートを採用。偏光の影響をキャンセル。 ・対物レンズの交換・選択が可能。赤外用、高分解能対物レンズの選択が可能。最大100倍の高倍率観察が可能。赤外対物レンズ (NIRレンズ) ・高倍率対物レンズ (HRレンズ) の選択が可能。

■自動調芯機能と光ビーム計測機能の連動により、光導波路出射ビームのNFP・FFP・偏光消光比などの光学諸特性を自動測定

・調芯・損失測定・NFP測定には、偏光対策型高機能光計測用光学系　M-Scope type I/PFを使用 ・FFP測定には、FFP計測光学系　M-Scope type Fを使用 ・偏光消光比計測には、偏光測定モジュール　PMD002/POLを使用

■専用の画像処理・自動調芯ソフトウエアによる画像調芯・パワー調芯連動。電動位置決めステージとの組み合わせにより、画像処理・自動調芯による高速・高再現性・高効率測定が可能。量産検査にも対応が可能。

電動位置決めステージ・画像処理ソフトウエアを併用することにより、超微細導波路デバイスの高速・自動測定を実現。量産検査にも対応が可能。

  • シリーズ

    光導波路光学特性測定装置

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使用用途

#表面検査 #位置計測 #形状測定 #反射評価 #透過評価 #分光分析 #アライメント調整

測定原理

干渉法 反射法 透過法

機能

三次元測定 高速測定

波長範囲 nm

0 - 200 200 - 400 400 - 700 700 - 1,000 1,000 - 2,000

データ保存 件

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