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個片サンプルローダ・アンローダ機構付光テスター/光配線導波路高速導通検査装置-個片サンプルローダ・アンローダ機構付光テスター/光配線導波路高速導通検査装置
個片サンプルローダ・アンローダ機構付光テスター/光配線導波路高速導通検査装置-シナジーオプトシステムズ株式会社

個片サンプルローダ・アンローダ機構付光テスター/光配線導波路高速導通検査装置
シナジーオプトシステムズ株式会社



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この製品について

■概要

個片サンプルローダ・アンローダ機構付光テスター/光配線導波路高速導通検査装置は、個片サンプル自動給排機構を搭載したポリマー光導波路高速・高精度導通自動検査装置です。個片サンプル給排機構を搭載することで、個片サンプル測定時のサンプルセッティングの手間を大幅に軽減し、検査効率とスループットの大幅改善が可能です。 また、測定光一括照射方式と高速導通検査ソフトウエアにより、複数チャンネルの光導波路の光導通を一度にかつ迅速に測定することが可能です。従来のファイバ調芯による損失測定方式では実現できなかった光配線導波路の量産高速光導通検査が可能となります。

■個片サンプルローダ・アンローダ機構の概要

個片サンプルをサンプルトレイから測定部に供給、また測定が終了したサンプルをサンプルトレイに自動的に整列する機構です。通常光テスターでは、専用の個片サンプル測定用サンプルホルダに手作業で個片サンプルを並べて設置、測定を行います。個片サンプル自動ローダ・アンローダ機構を搭載することで、個片サンプル測定の効率化が可能です。 サンプルトレイにおかれた個片サンプルは、ロボットアームにより吸着されます。吸着されたサンプルは位置決め用カメラと画像認識処理により位置・傾きの調整が行われ、サンプル測定部に精度よく自動的に設置されます。 また、測定が終了したサンプルは、自動的に測定部からサンプルトレイに回収されます。測定結果によるNG判定サンプルに関しては、NGサンプル回収用のサブトレイに回収することも可能です。

■サンプル測定部

個片サンプル自動ローダ・アンローダ機構によりサンプル測定部に精度よく整列された個片サンプルは、光テスターにより高速に導通測定・判定処理が行われます。自動サンプルローダ・アンローダ機構と光テスタによる高速導通測定方式の併用により、個片サンプル型の光配線導波路の導通検査時間を大幅に短縮し、検査のスループットを改善することができます。測定内容に関しては、従来の光テスターと同様に、光導通測定 (相対損失測定) と判定、デフォーカス測定、コアピッチ・コア位置計測等の処理・測定に対応可能です。

■特長

・個片サンプルの測定部への自動給排機構を装備。個片サンプルの検査スループットを大幅に短縮。 ・測定光一括励振方式による無調芯・高速測定

  • シリーズ

    個片サンプルローダ・アンローダ機構付光テスター/光配線導波路高速導通検査装置

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個片サンプルローダ・アンローダ機構付光テスター/光配線導波路高速導通検査装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 広域一括均一励振光源ユニット 出射N.A. 広域一括均一励振光源ユニット 均一照射面サイズ 広域一括均一励振光源ユニット 照射面内光量均一度 広域一括均一励振光源ユニット 測定光源中心波長 広域一括均一励振光源ユニット 最大出射光量 広域一括均一励振光源ユニット 出射光量安定度 専用高N.A.型計測光学系 受光N.A. 専用高N.A.型計測光学系 計測実倍率 専用高N.A.型計測光学系 実観察・計測視野 検出器 有効画素数 検出器 ピクセルピッチ 検出器 素子サイズ 検出器 諧調
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個片サンプルローダ・アンローダ機構付光テスター/光配線導波路高速導通検査装置

要見積もり

0.57

約φ4mm (ギャップ 5mm)

約±2%

850nm (波長半値幅:±40nm)

約15mW

±1%

0.4

5倍 (20倍対物レンズ使用時)

約1.41mm×1.05mm

2,048×1,536画素 (約320万画素)

3.45×3.45μm角

1/1.8インチ

12bit

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光学測定器をフィルターから探すことができます

使用用途

#表面検査 #位置計測 #形状測定 #反射評価 #透過評価 #分光分析 #アライメント調整

測定原理

干渉法 反射法 透過法

機能

三次元測定 高速測定

波長範囲 nm

0 - 200 200 - 400 400 - 700 700 - 1,000 1,000 - 2,000

データ保存 件

50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 10,000

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