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真空機器 チャンバー-チャンバー
真空機器 チャンバー-入江工研株式会社

真空機器 チャンバー
入江工研株式会社



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この製品について

顧客の高度な要求仕様に対し、当社で培った溶接技術・加工技術で製品化を実現しています。またナショナルプロジェクトにも多数納入した実績がございます。性能要求が厳しい半導体デバイス用製造装置等のサプライヤーとして高度にカスタマイズされた真空チャンバーをご提供しています。 5軸制御複合加工機、立形マシニングセンター、CNC精密旋盤、3次元測定器等を保有して、半導体製造装置向け真空チャンバーや加速器用真空チャンバーなど高精度の加工が要求される場合に活用しています。 真空機器の特徴

■「精密設計」・「加工・溶接技術」・「高いシール性」

半導体製造装置、FPD製造装置、太陽電池パネル製造装置、有機ELパネル製造装置、グローブBOX、理化学実験用装置、加速器施設、放射光施設にご活用いただいております。真空チャンバー内部は超高真空からプラズマ環境、希薄な活性ガス環境などの特殊な環境となるチャンバーの製作も承っております。当社製品であるゲートバルブも真空チャンバーに組み込んで出荷することができます。 真空チャンバーの設計においてCADソフトウェアを駆使し、3Dモデルを作成しています。これらのモデルは、高度なCAE解析により、応力値、変形量、加熱時の温度分布など、必要に応じてさまざまな要因が考慮され、製品の性能と信頼性を最適化します。 主な使用例

■「精密設計」+「加工技術」

・真空機器ではお客様の高い要求仕様を理解し、CADソフトウェアを駆使することにより精密設計へ落とし込みます。 ・最適な材料選定、難加工、溶接、洗浄、組立、検査工程を経て完成させます。大型チャンバーの場合、加工できる保有設備も重要な要素となります。弊社は十分な設備を取り揃えています。 ・高い真空技術により、シール性も担保することができます。

■ベローズ内蔵

ベローズメーカである強みを生かし、導入機をラインナップさせていただいております。

  • シリーズ

    真空機器 チャンバー

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真空機器 チャンバー 品番1件

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チャンバー

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使用用途

#表面処理 #蒸着 #分析計測 #熱処理 #乾燥脱気 #材料評価

構造

直線型 円筒型

減圧方式

ポンプ駆動型 ターボ分子ポンプ型

機能

高精度制御型 耐高温型

特徴

コンパクト型 高耐圧型 クリーン環境対応型

パイプ外径 mm

100 - 300 300 - 500 500 - 750 750 - 1,000

到達真空 10⁻⁶Pa

0 - 10 10 - 20

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

入江工研株式会社は、半導体製造装置用各種真空ベローズや、真空バルブなど、真空装置付属機器を製造しているメーカーです。

1966年の会社設立当初は空調用伸縮継手の他に、鉄道関係のベローズなどを製作していま...

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  • 本社所在地: 東京都
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