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流体制御機器 排気圧力制御器・流量計 EPS-5200-EPS-5200
流体制御機器 排気圧力制御器・流量計 EPS-5200-株式会社エー・シー・イー

流体制御機器 排気圧力制御器・流量計 EPS-5200
株式会社エー・シー・イー

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この製品について

■概要

本装置は、枚葉式洗浄装置に対してメイン排気ダクトラインの圧力変動による製造プロセスのユラギを防ぐための機器です。独自に開発した空圧駆動ゴム膨張バルブにより、小型かつ極低圧損で高速な圧力制御を可能にしました。 排気圧力を適切に制御することで、排気流量も適正に管理されるため、排気ダクトの総流量・圧力管理により、大幅なエネルギーコストの削減が可能になります。

■主な用途

・枚葉式洗浄装置のチャンバー圧力制御 ・クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 ・排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス ・液晶のエア・ナイフ槽の排気圧力コントロール ・クリーンブース内の排気圧力コントロール

  • シリーズ

    流体制御機器 排気圧力制御器・流量計 EPS-5200

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流体制御機器 排気圧力制御器・流量計 EPS-5200 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 接続パイプ口径 流量範囲 (1次側) 圧力損失 コントロールバルブ取合い 調整圧力範囲 (1次側圧力) 2次側圧力 (バルブ下流圧力) 圧力精度 制御リップル (定常制御時の変動) 耐圧 (1次側の圧力) 応答性 流体温度 本体環境温度 (精度保証温度) 電源電圧 外部出力 コントローラ (CD-100) 外部設定信号 アラーム信号 シリアル通信 供給Air (N2) 圧力 各ポート 接ガス材質 取り付け姿勢 コントロール弁状態
流体制御機器 排気圧力制御器・流量計 EPS-5200-品番-EPS-5200

EPS-5200

要見積もり

200A

0.5 ~ 15 Nm3/min
流量が最低流量に満たない場合には設定圧力に到達しない場合があります。

15 Nm3/min (Air) で50Pa

200A配管出し

-50 ~ -999Pa (大気圧との差圧・2次側圧力に依存します)

(制御圧力-50) Pa以下
差圧がこの数値より小さい場合、1次側調整範囲が狭くなります。

±2% フルスケール

±1% フルスケール (2次側圧力変動±10Pa以内)

50kPa (大気圧との差圧) 以内

設定の98%に対し2秒以内 (Typical)

10 ~ 50℃

15 ~ 35℃

24V DC ± 10%

圧力信号 : 1 ~ 5V DC
アラーム : NPN トランジスタオープンコレクタ DC 30V < 100mA

現場設定もしくは外部設定切換え可能

圧力設定信号 : 4 ~ 20mA
バルブ : 強制オープン、コントロール
(オプション) Control / Open (C/O) : 24V DC ON/OFF

圧力差異 (任意設定)
本体異常 (圧力コントローラの異常も含む)

RS485

0.3±0.1MPaG

Φ6mm ワンタッチ (バルブ,電空部)
Φ4mmワンタッチ (圧力計測用)
バルブへの供給配管任意

PVC, バイトン, EPDM

自由

電源OFF時、バルブ状態保持

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使用用途

#積算 #半導体プロセス #高温流体 #冷却水監視 #防爆環境 #溶接 #燃費測定 #医療用途

測定原理

電磁式 超音波式 コリオリ式 渦流式

構造方式

タービン式 ギア式 フロート式

出力信号

アナログ出力型 デジタル出力型

表示方式

指針式 デジタル表示型

口径 mm

5 - 20 20 - 50 50 - 150 150 - 600 600 - 6,000

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 6

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 2

使用温度範囲 ℃

-60 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 500

測定流体

液体 気体

電源電圧 VDC

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50

保護等級 IP

IP54 IP64 IP65 IP66 IP67 IP68 IPX4

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この商品の取り扱い会社情報

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