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シリーズ
高電圧・高真空エージング装置取扱企業
株式会社サンバック| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | X線管内部圧力 | エージング装置内圧力 | X線管加熱温度 | 直流高電圧印加 | X線管陽極放熱 | X線遮蔽 | 真空槽 形状寸法 | 真空槽 材質 | 真空槽 装置重量 | 加熱方式 | 高電圧印加方式 | X線管放熱方式 | 真空排気系 真空容器内排気用 | 真空排気系 X線管内排気用 | 真空排気系 真空計測系 | 制御方式 | ユーティリティー |
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高電圧・高真空エージング装置 |
要見積もり |
3.0×10-6Pa (無負荷状態で排気開始から3時間程経過後) |
1.0×10-6Pa (無負荷状態でチャンバーベーキング後) |
300℃ (max350℃) (30分間昇温) |
X線管の陰極・陽極間に対して±100kV (max) |
放熱量：：300W (常時) |
印加電圧160kVで漏洩放射線量0.1μSv/hr (真空槽壁) 以下 |
820mmW×540mmD×590mmH |
SUS304 表面処理：内面 (バフ＃200研磨＋電解研磨) |
800kg |
ハロゲンランプ方式 ：ハロゲンランプ2本 (2kW) /1セット |
100kV電圧導入ブッシング |
シリコン絶縁油、チラー冷却、加圧ポンプ噴射式 |
ターボ分子ポンプ ：排気速度1,490L/sec (N2) 、到達圧力×10-6Pa |
ターボ分子ポンプ (背圧ポンプ一体型) ：排気速度67L/sec (N2) 到達圧力5.0×10-8Pa |
ピラニ真空計/電離真空計/電離センサー |
グラフィックタッチパネルによる操作 (自動/手動操作) |
電力：AC200V3相50Hz 10kVA (50A) |
