マガジン加熱装置 SMH-111
株式会社九州日昌

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この製品について

マガジン加熱装置とは、半導体製造工程にて使用するマガジンをそのままアニールやキュアできるように開発された装置です。非常にコンパクトで状況に応じて複数台使用することも容易な大きさです。昇温時の温度分布が極めて安定し、昇温時間が短いのも特徴です。ブログラム可能な温度調節器を使用することによりステップキュアも可能です。

■優れた温度性能輻射、熱風加熱方式を併用しており、マガジン内のワーク温度バラつきを抑えます

■トレサビリティマガジン単位の (再現性のある) 加熱により、加熱のトレサビリティを可能にします

■高い生産性優れた温度性能により品質のバラつきが無く、生産効率の改善につながりますまた複数の炉体を1台の制御盤で集中制御する事により、さまざまな生産計画に対応できます

■クリーン熱風、循環タイプでは無いので、製品から発生するガスによるコンタミの心配がありません。また気密性が高く、酸素濃度を低く出来るため、酸化不良を削減できます。

■ワークでの温度保証内温度ではなく製品の温度分布保証。通常のバッチ炉内にマガジンを置くと風の流れが変化し製品の温度ムラが発生します。弊社では解析と実験結果に基づいて、安定した温度分布がとれる加熱構成になっています。

■炉内設定温度≠製品温度弊社設備では出荷前のテストに於いてお客様のマガジンと製品をお貸し頂き製品での温度分布を測定し、仕様内に入る事を確認の上出荷しています。マガジン内の最上段、中心、最下段の製品温度分布を測定します。

■コンパクトヒーターが小型なのでお客様の要求によりラックに炉体をのせ温度管理はタッチパネルで個別、一括の変更も可能ですので、品種切り替え時の温度変更の煩わしさから解消されます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
マガジン加熱装置 SMH-111

取扱企業
株式会社九州日昌

カテゴリ

熱源

加熱炉

加工・工作機器

加熱装置

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マガジン加熱装置 SMH-111 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	加熱ステップ数	最高使用温度	保持温度条件	対象マガジン	マガジン収納数	炉内寸法	加熱方式	電源電圧	設備寸法
	SMH-111	要見積もり	任意に可変可	ワーク温度にて250℃	マガジン内ワーク 100~250土5℃以内	W:70 xL:230 x xH:200	1	W: 80 x L:300 x H:220	遠赤外線加熱+熱風加熱方式	三相 200V 3kVA	W:450 xL:700 xH:530