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プラズマクリーナー SPE-2136A-SPE-2136A
プラズマクリーナー SPE-2136A-株式会社昭和真空

プラズマクリーナー SPE-2136A
株式会社昭和真空

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この製品について

■φ6インチウエハ2枚同時処理による高スループット

本装置はφ4～φ6インチウエハに対しデスカム・表面改質・アッシング処理が可能です。また、自動搬送機構を付属しておりウエハ割れ防止や、ウエハ移載にかかる作業時間コストの削減に貢献します。さらに、プロセス室はウエハ2枚同時処理により高いスループットを実現しています。装置本体サイズがW1,400mm×D2,000mmとコンパクトな設計となっています。

■用途・応用例

デスカム・表面改質・アッシング処理。各種ウエハ電子部品のレジスト除去、後工程メッキ前の表面改質、有機汚染除去、樹脂材料の表面改質、SAWデバイスなどの極薄圧電ウエハ対応

■特長

・C to C ・高スループット ・分布：ウエハ内±10％以下 (Si基板) ・2枚同時処理、低温処理 ・Arプラズマクリーニング (オプション) ・イオナイザーによる静電対策 (オプション)

  • シリーズ

    プラズマクリーナー SPE-2136A

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プラズマクリーナー SPE-2136A 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気ポンプ 設置寸法 重量 電源容量 装置構成 排気系 到達圧力 排気時間 アッシング分布 サイクルタイム RF電源 マッチングボックス ガス導入系 制御系 冷却水 圧空 O2ガス N2ガス アース
プラズマクリーナー SPE-2136A-品番-SPE-2136A

SPE-2136A

要見積もり

DRP×1

本体：W1,340mm×D1,945mm×H1,870mm

1,100Kg

AC200~220V (3φ) ／50/60Hz／14.3kVA

搬送ロボットを搭載した搬送エリアとアッシング室で構成 真空槽材質は、脱脂処理を施したA5052製を採用

ドライポンプ1式

1Pa以下

10Paまで18秒以内

±10％以内

45sec (18枚／カセット、φ4インチ基板) ※参考値

MAX1,000W (13.56MHz)

オートマッチング仕様

O2ガス用 マスフローコントローラー 1式

シーケンサーの使用により、全自動操作が可能 基板処理枚数はタッチパネル上に常時表示し、
エラー履歴を確認可能 レシピ管理、ログ取得を付属のパソコンにて行います

20~25℃ 0.36m3/hr (6L/min)

0.5MPa 20L/min

0.05MPa プロセス用

0.3MPa 60L/min

A種アース

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重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 500 500 - 1,000

周波数 kHz

10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 1,000 1,000 - 15,000

出力 W

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社昭和真空

会社概要

株式会社昭和真空は、1958年に設立された、真空関連装置メーカーです。 2000年にはJASDAQ上場（現在は東証スタンダード市場）を果たします。 真空技術を中心とした、装置製造を軸としており、全て受注生産であることが...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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