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アッシング装置 GaSonics L3510/A3010取扱企業
株式会社インターテック販売カテゴリ
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アッシング装置の製品26点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 工程 | メーカー |
|---|---|---|---|---|
L3510 |
要見積もり |
成膜 |
GASONICS |
アッシング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#レジスト除去 #残留有機膜剥離 #イオン注入ポリマー除去 #ウェハ表面クリーニング #CCDカラーフィルター処理 #チップパッケージ処理 #MEMS表面処理プラズマ方式
マイクロ波プラズマ型 RFプラズマ型 大気圧プラズマ型ガス種別
酸素ガス型 フッ素系ガス型 混合ガス型構造形式
バッチ型 連続搬送型 ロードロック型対応ウェーハサイズ mm
75 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 325
