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メガソニック超音波洗浄システム（FTFトランスデューサー)-ソノシス社製メガソニックシステム（FTFトランスデューサー)
メガソニック超音波洗浄システム（FTFトランスデューサー)-ティックコーポレーション株式会社

メガソニック超音波洗浄システム（FTFトランスデューサー)
ティックコーポレーション株式会社

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この製品について

次世代メガソニック技術で最大300mmウェハーも一瞬でクリアに SONOSYS社製1MHzメガソニックシステム（FTFトランスデューサー & MGHジェネレーター）は、単一基板の洗浄プロセスを最適化する高性能システムです。 主な特長を以下の通りです。 - 高精度洗浄: PFA製の密閉型トランスデューサーが基板から約1.5mmの距離で設置され、メガソニックエネルギーを均一に伝達 - 特許技術採用: 「バタフライ圧電セラミック」技術により、従来のシステムと比較して最大40%高い音圧、最大30%高い効率を実現 - シングルプロセス対応: 最大300mmの基板やウェハーの洗浄に適用可能 - 高出力仕様: 150Wの出力調整範囲（約20%～100%）を持ち、1MHzの超音波を活用 - 安定した動作環境: 筐体は19インチエンクロージャーでコンパクトな設計 - 動作温度範囲は+10℃～+40℃ - 耐久性と適応性: 最大+80℃までの液体温度に対応（窒素冷却使用時） - PTFEコート同軸HFケーブル（3m）採用 - 精密設計: 設置距離は約1.5mm（1MHz時）、基板の最低液層厚は約4mm

■用途/実績例

半導体用ウェーハ、フォトマスク、MEMSなどの洗浄

  • シリーズ

    メガソニック超音波洗浄システム（FTFトランスデューサー)

  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用

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メガソニック超音波洗浄システム（FTFトランスデューサー) 品番1件

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#金型 #半導体 #精密部品 #光学部品 #電子部品 #自動車部品 #ノズル #ディスプレイ製造 #フィルター #バリ取り #印刷シリンダー

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圧電振動型 ハイブリッド型

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単一周波数型 デュアル周波数型 周波数可変型

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単槽型 多槽型 オーバーフロー型

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循環濾過型 加熱循環型

洗浄液量 L

0 - 20 20 - 40

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0 - 400 400 - 700 700 - 900 900 - 1,300

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会社概要

1987年8月に会社設立

液体噴霧から水切り、乾燥、吹き飛ばしまで、あらゆる省エネ商品を提供！

生産、現場改善商品も随時更新！
ティックコーポレーションは、生産効率の改善・経費...

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