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超音波洗浄装置 (バス・タンク式洗浄) 4インチ基板用ジェネレーター (PVDF製)-4インチ基板用ジェネレーター (PVDF製)
超音波洗浄装置 (バス・タンク式洗浄) 4インチ基板用ジェネレーター (PVDF製)-ティックコーポレーション株式会社

超音波洗浄装置 (バス・タンク式洗浄) 4インチ基板用ジェネレーター (PVDF製)
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■超音波洗浄スプレーノズル

非接触単一基板の洗浄にはシングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネルのいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHzから最大9MHzまでのメガソニックノズルがございます。このメガソニックノズルのトランスデューサーはメガソニックを生成し流体 (純水など) を通してメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。

■メガソニック浸水型トランスデューサー

周波数が400kHz/600kHz/1MHz/2MHzのメガソニック浸水型トランスデューサーです。ステンレス製又はプラスチック製の密閉されたトランスデューサーを既存タンクの底部又は、側面に設置します。 4"、6"および8"の基板サイズの標準システムに加え、特注で浸水型トランスデューサーも可能です。非常に順応性の高い構成によりメガソニックシステムをバス・タンク式洗浄の工程に使用することで費用対効果の向上を可能にします。周波数は400kHz、600kHz、1MHzと2MHzをご用意しております。

■用途/実績例

半導体用ウェーハ、フォトマスク、MEMSなどの洗浄"

  • シリーズ

    超音波洗浄装置 (バス・タンク式洗浄) 4インチ基板用ジェネレーター (PVDF製)

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超音波洗浄装置 (バス・タンク式洗浄) 4インチ基板用ジェネレーター (PVDF製) 品番1件

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1987年8月に会社設立

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