恒温・冷却装置サーモエレクトリックチラー CleanStream-CleanStream 1100

恒温・冷却装置サーモエレクトリックチラー CleanStream
エムエス機器株式会社

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この製品について

■恒温・冷却装置温度安定性の高い液体を熱媒体とし、－25℃の低温域から＋200℃の高温域までを制御します。バス専用タイプ、循環専用タイプおよび兼用タイプを取り揃え、さらに研究レベルから工業レベルまで、豊富なモデルをラインナップしています。

■CleanStream小型のペルチェモジュールを用いたシステムで洗浄薬液を±0.05℃で温度制御をおこないます。

半導体製造の洗浄過程で使用される薬液の温度管理は製品の品質や生産性を左右する重要なファクターです。非常に小型のモジュールで、流路チューブをダイレクトに温度制御する方式ですので従来のタンクで薬液を温調するよりも10-30%使用量の削減が見込めます。さらに動作部分がないシンプル構造のため振動・ノイズもなくメンテナンスがほとんど不要です。

■「直接温調方式 (CleanStream) と間接温調方式 (バス型) との比較」・1. 間接温度コントロール方式のテフロンチュービングは、ストレス由来の亀裂やピンホールリークが懸念されます。
・2. 間接温度コントロール方式は、テフロンチュービング表面における酸の拡散による循環冷却液の劣化が懸念されます。
・3. 直接温度コントロール方式のCleanStreamはチラーによる冷却水を使用しないので、リークが発生した場合でもコンタミネーションを起こしません。
・4. CleanStreamの接液部は最高の耐薬品性を誇るHD PFAテフロンチュービングのみ使用しています。
・5. CleamStreamによる72時間の溶液循環でもサブppbレベルの金属コンタミネーションは確認されません。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
恒温・冷却装置サーモエレクトリックチラー CleanStream

取扱企業
エムエス機器株式会社

カテゴリ

冷却装置

チラーユニット

温度制御

ペルチェモジュール

冷却装置

冷却機器

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恒温・冷却装置サーモエレクトリックチラー CleanStream 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	設定温度範囲	冷却能力＠20℃	加熱能力	冷却水	プロセス流体	流量	最大圧力	接続	外寸法 (WxDxH)	質量	電源	材質
	CleanStream 1100	要見積もり	5℃~45℃	1,100W@25℃	1,100W@25℃	フィルトレーション工業用水	濃度50%未満のHF溶液、有機溶媒、その他PFAチュービング対応溶液	プロセス流体：2~8L/min or 15~38 L/min 冷却水：15~30L/min	プロセス流体：温度に依存 (MAX 0.67MPa) 冷却水：0.68MPa	3/4”or 1” Flaretek コネクター	250 × 410 × 80mm	17kg	200-240VAC 3P 12Amax Switchback power supply : 0-144VDC 0-24A	プロセス流体流路：HD PFA Teflonチュービング冷却水流路：アルミニウム