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非接触移動度・シート抵抗測定器 LEI-2000M-LEI-2000M
非接触移動度・シート抵抗測定器 LEI-2000M-日本セミラボ株式会社

非接触移動度・シート抵抗測定器 LEI-2000M
日本セミラボ株式会社



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この製品について

LEIシリーズは、主に化合物材料デバイスやR&D向けに開発され、移動度やシート抵抗といった、材料にとって重要なパラメータを得るのに最適な測定器です。LEI-2000Mは、最小2インチ、最大8インチ径のウェハに対応し、非接触・非破壊で移動度・キャリア密度・シート抵抗面内分布を測定することができます。※従来のホール測定のような電極蒸着、ボンディングが不要という意であり、ハンドリング時の裏面接触がございます。

■特徴

・FactoryAutomationの要求に沿った半自動によるサンプルハンドリング ・モニタウェハ不要 ・高スループットを実現します。

■アプリケーション

・移動度測定 ・シート抵抗測定 ・キャリア密度測定

■測定パラメーター

幅広い化合物半導体材料に対応します。 ・GaN/AlGaN、GaAs、InP、InGaAs、Graphene、SiCなど

■オプション

・3インチ~8インチ自動搬送 ・2インチマニュアルローディング ・SECS/GEM準拠の通信機能 ・OCR機能による透過性ウェハのID認識 ・校正用ウェハ

  • シリーズ

    非接触移動度・シート抵抗測定器 LEI-2000M

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非接触移動度・シート抵抗測定器 LEI-2000M 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
非接触移動度・シート抵抗測定器 LEI-2000M-品番-LEI-2000M

LEI-2000M

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測定レンジ Ω

0.01 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000,000

測定電流 mA

0 - 1 1 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000

測定時間 ms

0 - 10 10 - 100 100 - 500 1,000 - 10,000

分解能 μΩ

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,000,000

精度 %

0 - 2 2 - 4 4 - 6 6 - 14

電源 V

0 - 500 500 - 600 600 - 700

重量 kg

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5

温度 ℃

0 - 5 5 - 50

湿度 %

50 - 80 80 - 90

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本セミラボ株式会社は、検査装置メーカーです。 製造された半導体の性能や特性を検査するための装置である半導体検査装置や、液晶ディスプレイの光反射率、光伝導率などを検査するためのディスプレイ用検査装置など検査装置の販売を...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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