UVフィルム硬化装置高圧水銀ランプ仕様 UVC-408-UVC-408

UVフィルム硬化装置高圧水銀ランプ仕様 UVC-408-株式会社テクノビジョン

UVフィルム硬化装置高圧水銀ランプ仕様 UVC-408-UVC-408

UVフィルム硬化装置高圧水銀ランプ仕様 UVC-408
株式会社テクノビジョン

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この製品について

■シリーズ概要UVフィルム硬化装置は、半導体製造のウェハー加工 (ダイシングやバックグラインド) 工程において使用されるUV／紫外線硬化タイプのフィルムに、加工後、波長365nmの紫外線 (UV) を照射する装置です。UVを照射することにより接着用のノリが硬化し、強い接着力を有していたフィルムからチップやウェハーを簡単に剥離することが出来るようになります。

テクノビジョンでは、光源に異なる2タイプ (1：LED光源、2：高圧水銀ランプ) のUV硬化装置を提供しており、要件に応じた選択が可能となっています。

■製品概要「UV照射のバラつきによる硬化のクオリティの低さが気になりませんか」

200mm／8インチ対応のUV硬化装置と300mm／12インチ対応のUV硬化装置がございます。ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を行なう事が出来ます。

さらに、テクノビジョン独自の高効率、小流量N2置換機能が搭載されています。N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られます。これらの特長は、低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に大きく貢献します。また、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設置スペースの減少など、総合的な製造プロセスの効率化が図れます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
UVフィルム硬化装置高圧水銀ランプ仕様 UVC-408

取扱企業
株式会社テクノビジョン

カテゴリ

光源

UV照射器

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UVフィルム硬化装置高圧水銀ランプ仕様 UVC-408 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ワークサイズ	装置寸法
	UVC-408	要見積もり	200mm/8”対応	400mm (W) ×665mm (D) ×435mm (H)

フィルターから探す

UV照射器をフィルターから探すことができます

ランプ出力 W/cm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

波長 nm

150 - 200 200 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 450

照射強度 mW/cm²

0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 15,000

消費電力 W

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 2,000

冷却方式

ランプ寿命時間

500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 8,000 8,000 - 30,000

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社テクノビジョン

会社概要

株式会社テクノビジョンは、半導体製造装置の開発・製造と輸出輸入業を行う会社です。 1987年に埼玉県で設立されました。各種洗浄装置の開発・販売を中心に事業を展開し、海外メーカーからの受注や、台湾・中国・欧州で販売代理店...

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本社所在地: 埼玉県

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