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UVフィルム硬化装置 LED仕様 UVC-300-UVC-300
UVフィルム硬化装置 LED仕様 UVC-300-株式会社テクノビジョン

UVフィルム硬化装置 LED仕様 UVC-300
株式会社テクノビジョン

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この製品について

■シリーズ概要

UVフィルム硬化装置は、半導体製造のウェハー加工 (ダイシングやバックグラインド) 工程において使用されるUV／紫外線硬化タイプのフィルムに、加工後、波長365nmの紫外線 (UV) を照射する装置です。UVを照射することにより接着用のノリが硬化し、強い接着力を有していたフィルムからチップやウェハーを簡単に剥離することが出来るようになります。 テクノビジョンでは、光源に異なる2タイプ (1：LED光源、2：高圧水銀ランプ) のUV硬化装置を提供しており、要件に応じた選択が可能となっています。

■製品概要

「高温照射によるワークへのダメージが気になりませんか」 UV照射の光源にLED (Light Emitting Diode) を採用したLED UVフィルム硬化装置です。従来装置 (高圧水銀灯やメタルハライド光源) と比較しても十分な硬化性能 (硬化状態、硬化スピード) を発揮します。 テクノビジョンが独自に開発した高出力LEDドライバーを採用し、250mW／cm2 (10mm work distance) の照射出力を達成。光源部は、往復スキャンしながらワークを均一に照射します。LEDの特長である常温照射によるワークへの熱ダメージ低減、低消費電力、長寿命性、光源の交換時に安全等、数多くのメリットが受けられます。 また、CtoC (Cassette to Cassette) の自動機も用意しています。その他、装置組み込み用途などのモジュール化にも対応いたします。

■特長

・常温照射によるワークへのダメージ低減。 ・LEDの長寿性。 ・瞬時の立ち上がりによる作業効率の向上。

■機能特長

・高出力照射。 ・高出力ドライバ採用。 ・照度バラツキを解消。 ・波長365nmを採用、全てのUVテープ対応。 ・少流量オートN2パージ機能内蔵。 ・小型、軽量、テーブルトップタイプ。

  • シリーズ

    UVフィルム硬化装置 LED仕様 UVC-300

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UVフィルム硬化装置 LED仕様 UVC-300 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ワークサイズ 装置寸法
UVフィルム硬化装置 LED仕様 UVC-300-品番-UVC-300

UVC-300

要見積もり

300mm/12”対応

750mm (W) ×640mm (D) ×575mm (H)

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UV照射器をフィルターから探すことができます

ランプ出力 W/cm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

波長 nm

150 - 200 200 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 450

照射強度 mW/cm²

0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 15,000

消費電力 W

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 2,000

冷却方式

空冷 水冷

ランプ寿命 時間

500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 8,000 8,000 - 30,000

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社テクノビジョン

会社概要

株式会社テクノビジョンは、半導体製造装置の開発・製造と輸出輸入業を行う会社です。 1987年に埼玉県で設立されました。各種洗浄装置の開発・販売を中心に事業を展開し、海外メーカーからの受注や、台湾・中国・欧州で販売代理店...

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  • 本社所在地: 埼玉県

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