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真空破壊用ブレイクフィルター-真空破壊用ブレイクフィルター
真空破壊用ブレイクフィルター-クアーズテック合同会社

真空破壊用ブレイクフィルター
クアーズテック合同会社



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この製品について

■真空破壊用ブレイクフィルターは、成膜やその他の真空プロセスで使用されるディフューザーで、真空チャンバーの迅速でクリーンなベントを可能にします

・ウェーハ上のパーティクル付着を低減し、歩留まりを向上させる。 ・チャンバーのベントを高速化し、スループットを向上させる

■クアーズテックの真空破壊用ブレイクフィルターは、様々なタイプとサイズの真空チャンバー用に特別に設計された多孔質アルミナ (Al2O3) と多孔質炭化ケイ素 (SiC) セラミックスを使用しています

・チューブタイプ (ロードロック、トランスファー、プロセスチャンバー用) ・ディスクタイプ (狭いスペースのチャンバー用) ・石英タイプ (熱処理およびLPCVDチャンバー用)

  • シリーズ

    真空破壊用ブレイクフィルター

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真空破壊用ブレイクフィルター 品番1件

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

クアーズテック株式会社は、炭化ケイ素セラミックスや真空破壊用ブレイクフィルターなど半導体関連製品の製造販売、液晶ディスプレイ用大型フォトマスク基板などFPD関連製品の製造販売、ガラス溶融用石英ルツボやガラス工業用高品位耐...

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  • 本社所在地: 東京都

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