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サセプター-サセプター
サセプター-クアーズテック合同会社

サセプター
クアーズテック合同会社

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この製品について

サセプターは、熱処理中に半導体ウェーハを保持し、加熱します。サセプターは、誘導、伝導、および/または放射によってエネルギーを吸収し、ウェーハを加熱する材料で作られています。その耐熱衝撃性、熱伝導性、純度は、急速熱処理 (RTP) にとって非常に重要です。炭化ケイ素でコーティングされたグラファイト、炭化ケイ素 (SiC) 、シリコン (Si) は、特定の熱的および化学的環境に応じて、サセプターとして一般的に使用されます。PureSiC® CVD SiCおよびClearCarbon™超高純度材料は、優れた熱安定性、耐食性、耐久性を実現します。

  • シリーズ

    サセプター

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商品画像 品番 価格 (税抜)
サセプター-品番-サセプター

サセプター

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使用用途

#アニール #乾燥 #硬化 #焼結 #焼成 #脱泡 #熱処理 #滅菌 #予熱 #溶解

最高温度 ℃

0 - 300 300 - 500 500 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,500 1,500 - 1,600 1,600 - 1,700

加熱電力 kW

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 10 10 - 20 30 - 100 100 - 300

電源電圧 V

AC100V AC110V AC200V AC220V AC230V AC240V AC380V

温度制御精度 ℃

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 10

加熱方式

ホットエアージャケット方式 セラミックヒーティング 発熱部分拡大タイプ

冷却方式

氣冷式 水冷式 強制空冷

安全装置

過電流ヒューズ 過熱警報 過熱保護 過昇温防止 遮断器 センサー異常検知 温度上限警報機能 漏電ブレーカー インターロック

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この商品の取り扱い会社情報

クアーズテック合同会社

会社概要

クアーズテックグループは、110年以上にわたり、常に移り変わるテクニカルセラミックスの最先端を切り開いてきました。またその事業領域もエネルギーや半導体、医療のみならず、機械、食品・農業、輸送、航空宇宙・防衛分野など多岐に...

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