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マニュアルプローバー 12インチウエハー対応タイプ Model FD30100カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 本体部 チャックステージサイズ | 本体部 ステージ移動 | 本体部 ステージトラベル | 本体部 サブステージトラベル | 本体部 デバイス保持 | 本体部 Zトラベル調整範囲 | 本体部 θ調整範囲 | 本体部 本体寸法 | 本体部 本体質量 | 顕微鏡X-Yスキャナー部 スキャナートラベル 粗動 | 顕微鏡X-Yスキャナー部 スキャナートラベル 微動 | 顕微鏡X-Yスキャナー部 本体寸法 | 顕微鏡X-Yスキャナー部 本体重量 | 顕微鏡X-Yスキャナー部 装備オプション |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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Model FD30100 |
要見積もり |
12インチまたは320mm x 320mm (金属製ワークテーブル) |
エアベアリング及びマイクロヘッド送り機構 |
X : 300mm |
X : 14mm |
真空吸着固定方式 |
30mm |
微動士5° |
幅 : 800mm |
約75kg |
X : 300mm |
X : 30mm |
幅 : 800mm |
顕微鏡微動スキャナ |
顕微鏡アーム |
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使用用途
#RF測定 #インピーダンス測定 #オプトエレクトロニクス測定 #サブテラヘルツ測定 #ハイパワー測定 #ロードプル測定 #温度特性評価 #故障解析 #信頼性試験 #微小電流測定接触方式
メカニカルコンタクト型 マイクロコンタクト型操作方式
手動型 半自動型対応ウェーハサイズ
小型対応型 中型対応型 大型対応型プローブユニット構成
マルチプローブ型 プローブカード型対応ウエハサイズ mm
100 - 150 150 - 200システム重量 kg
700 - 800 800 - 900 900 - 1,100