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コンパクトな2軸ピエゾナノポジショナー P-611.XZ・P-611.2XZおよびXYZナノポジショナー取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X方向の移動範囲、開ループ、-20～120V | Y方向の移動範囲、開ループ、-20～+120V | ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | 解像度、開ループ | ドライブタイプ | 電気容量 | X方向の剛性 | Y方向の剛性 | X方向の共振周波数、無負荷 | Xの共振周波数、30gの荷重下 | Xの共振周波数、100gの荷重下 | Y方向の共振周波数、無負荷 | Y方向の共振周波数、30gの荷重下 | Y方向の共振周波数、100gの荷重下 | X方向の許容押付け力 | Y方向の許容押付け力 | X方向の移動範囲 | Y方向の移動範囲 | 直線性誤差 | 再現性 | 統合センサー | システム解像度 | Z方向の移動範囲、開ループ、-20～120V | ヨー (Z方向の動きを伴うθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (Z方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | Z方向の移動範囲 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
P-611.20 |
要見積もり |
XY |
120μm |
120μm |
±5μrad |
±5μrad |
±20μrad |
±10μrad |
0.2nm |
ピクマ® |
1.5μF |
0.2N/μm |
0.2N/μm |
345Hz |
270Hz |
180Hz |
270Hz |
225Hz |
165Hz |
15N |
15N |
- | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
|
|
P-611.2S |
要見積もり |
XY |
120μm |
120μm |
±5μrad |
±5μrad |
±20μrad |
±10μrad |
0.2nm |
ピクマ® |
1.5μF |
0.2N/μm |
0.2N/μm |
345Hz |
270Hz |
180Hz |
270Hz |
225Hz |
165Hz |
15N |
15N |
100μm |
100μm |
0.10% |
<10nm |
SGS、間接位置測定 |
2nm |
- | - | - | - | |
|
|
P-611.XZ0 |
要見積もり |
XY |
120μm |
- |
±5μrad |
±5μrad |
±20μrad |
- |
0.2nm |
ピクマ® |
1.5μF |
0.2N/μm |
- |
365Hz |
280Hz |
185Hz |
- | - | - |
15N |
- | - | - | - | - | - | - |
120μm |
±10μrad |
±10μrad |
- | |
|
|
P-611.XZS |
要見積もり |
XY |
120μm |
- |
±5μrad |
±5μrad |
±20μrad |
- |
0.2nm |
ピクマ® |
1.5μF |
0.2N/μm |
- |
365Hz |
280Hz |
185Hz |
- | - | - |
15N |
- |
100μm |
- |
0.10% |
<10nm |
SGS、間接位置測定 |
2nm |
120μm |
±10μrad |
±10μrad |
100μm |
