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コンパクトな2軸ピエゾナノポジショナー P-611.XZ・P-611.2XZおよびXYZナノポジショナー取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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2軸ステージの製品154点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X方向の移動範囲、開ループ、-20～120V | Y方向の移動範囲、開ループ、-20～+120V | ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | 解像度、開ループ | ドライブタイプ | 電気容量 | X方向の剛性 | Y方向の剛性 | X方向の共振周波数、無負荷 | Xの共振周波数、30gの荷重下 | Xの共振周波数、100gの荷重下 | Y方向の共振周波数、無負荷 | Y方向の共振周波数、30gの荷重下 | Y方向の共振周波数、100gの荷重下 | X方向の許容押付け力 | Y方向の許容押付け力 | X方向の移動範囲 | Y方向の移動範囲 | 直線性誤差 | 再現性 | 統合センサー | システム解像度 | Z方向の移動範囲、開ループ、-20～120V | ヨー (Z方向の動きを伴うθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (Z方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | Z方向の移動範囲 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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P-611.20 |
要見積もり | XY | 120μm | 120μm | ±5μrad | ±5μrad | ±20μrad | ±10μrad | 0.2nm | ピクマ® | 1.5μF | 0.2N/μm | 0.2N/μm | 345Hz | 270Hz | 180Hz | 270Hz | 225Hz | 165Hz | 15N | 15N | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
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P-611.2S |
要見積もり | XY | 120μm | 120μm | ±5μrad | ±5μrad | ±20μrad | ±10μrad | 0.2nm | ピクマ® | 1.5μF | 0.2N/μm | 0.2N/μm | 345Hz | 270Hz | 180Hz | 270Hz | 225Hz | 165Hz | 15N | 15N | 100μm | 100μm | 0.10% | <10nm | SGS、間接位置測定 | 2nm | - | - | - | - | |
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P-611.XZ0 |
要見積もり | XY | 120μm | - | ±5μrad | ±5μrad | ±20μrad | - | 0.2nm | ピクマ® | 1.5μF | 0.2N/μm | - | 365Hz | 280Hz | 185Hz | - | - | - | 15N | - | - | - | - | - | - | - | 120μm | ±10μrad | ±10μrad | - | |
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P-611.XZS |
要見積もり | XY | 120μm | - | ±5μrad | ±5μrad | ±20μrad | - | 0.2nm | ピクマ® | 1.5μF | 0.2N/μm | - | 365Hz | 280Hz | 185Hz | - | - | - | 15N | - | 100μm | - | 0.10% | <10nm | SGS、間接位置測定 | 2nm | 120μm | ±10μrad | ±10μrad | 100μm |
