N-216 NEXLINE　ピエゾウォークリニアアクチュエータ　最大600N-N-216.101

N-216 NEXLINE　ピエゾウォークリニアアクチュエータ　最大600N
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

長い移動範囲でのナノポジショニング、高力、ピエゾウォークの原理®

■特徴・600 Nまでの力発生
・800 Nまでの保持力
・移動範囲 20 mm
・分解能5 nmの直接測定リニアエンコーダを内蔵

概要
■ピエゾウォークウォーキングドライブによるナノメートルの精度と高い送り力®いくつかのピエゾアクチュエータは、PiezoWalk®ウォーキングドライブで歩行動作を実行し、ランナーの前方フィードにつながります。アクチュエータの制御により、1ナノメートルをはるかに下回る分解能で最小のステップとフォワードフィードモーションが可能になります。

■高度な真空アプリケーションに適していますPIのピエゾモータは、真空で使用するように設計でき、強い磁場での動作に適しています。この目的のために、特別なバージョンのドライブが用意されています。ピエゾウォーキングドライブは、クリーンルームや紫外線の強い環境でも使用できます。

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定非接触光学エンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精度で直接測定します。非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響を与えません。

■応用分野産業用精密位置決め/半導体技術/半導体テスト/ウェーハ検査/リトグラフ/ナノインプリント/ナノ計測/強磁場中および真空中での運動

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
N-216 NEXLINE　ピエゾウォークリニアアクチュエータ　最大600N

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

駆動機構・部品

リニアアクチュエータ

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N-216 NEXLINE　ピエゾウォークリニアアクチュエータ　最大600N 品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	駆動軸	移動範囲	X (アナログモード) の移動範囲	速度 (10%デューティサイクル、フルステップモード)	速度 (100%デューティサイクル、フルステップモード)	速度 (100%デューティサイクルナノステッピングモード)	X単位の分解能、オープンループ	動作電圧	ドライブの種類	駆動力 300 N 600 N	保持力、パッシブ 400 N 800 N	全体の質量 1,150 g 1,250 g	材料	使用温度範囲	コネクタ	ケーブル長	推奨コントローラ	統合センサーインクリメンタルロータリエンコーダ	システム解像度 5 nm	基準スイッチ光学、方向検出(基準エッジトラック)、5 V、TTL
N-216.101	要見積もり	X	20 mm	± 3 μm	1 mm/s	0.6 mm/s	0.4 mm/s	0.03 nm	-250 ~ +250	ネクライン®ピエゾウォーキングドライブ	300 N	400 N	1,150 g	アルミニウム、ステンレス鋼	0~55 ℃	D-sub 25-pin (m)	2 m	E-712.1AM	-	-	-
N-216.1A1	要見積もり	X	20 mm	± 3 μm	1 mm/s	0.6 mm/s	0.4 mm/s	0.03 nm	-250 ~ +250	ネクライン®ピエゾウォーキングドライブ	300 N	400 N	1,150 g	アルミニウム、ステンレス鋼	0~55 ℃	D-sub 25-pin (m)	2 m	E-712.1AM	インクリメンタルロータリエンコーダ	5 nm	光学、方向検出(基準エッジトラック)、5 V、TTL
N-216.201	要見積もり	X	20 mm	± 3 μm	1 mm/s	0.6 mm/s	0.4 mm/s	0.03 nm	-250 ~ +250	ネクライン®ピエゾウォーキングドライブ	600 N	800 N	1,250 g	アルミニウム、ステンレス鋼	0~55 ℃	D-sub 25-pin (m)	2 m	E-712.1AM	-	-	-
N-216.2A1	要見積もり	X	20 mm	± 3 μm	1 mm/s	0.6 mm/s	0.4 mm/s	0.03 nm	-250 ~ +250	ネクライン®ピエゾウォーキングドライブ	600 N	800 N	1,250 g	アルミニウム、ステンレス鋼	0~55 ℃	D-sub 25-pin (m)	2 m	E-712.1AM	インクリメンタルロータリエンコーダ	5 nm	光学、方向検出(基準エッジトラック)、5 V、TTL