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真空用途 Z軸フラットステンレスステージ TSDS-TSDS-253
真空用途 Z軸フラットステンレスステージ TSDS-シグマ光機株式会社

真空用途 Z軸フラットステンレスステージ TSDS
シグマ光機株式会社

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この製品について

■特長

スチールステージTSDシリーズと構造、性能が同等で、クリーンルーム、真空用途に適した直線移動ステージです。全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。 ステージ本体、マイクロメータヘッドともに高真空グリース (YVAC2) を使用しています。

  • シリーズ

    真空用途 Z軸フラットステンレスステージ TSDS

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真空用途 Z軸フラットステンレスステージ TSDS 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) テーブル面サイズ 軸タイプ 移動量 移動量 1回転 マイクロメータ最小読取 移動ガイド 主要材質 表面処理 耐荷重 移動精度 真直度 許容モーメント荷重 ピッチング 許容モーメント荷重 ローリング モーメント剛性 ピッチング モーメント剛性 ローリング 平行度 移動平行度 質量
真空用途 Z軸フラットステンレスステージ TSDS-品番-TSDS-253

TSDS-253

要見積もり

25×25mm

Z軸

±3mm

0.5mm

0.01mm

ボールガイド

ステンレス

無

29.4N (3.0kgf)

5μm

1.0N.m

1.0N.m

7.14"/N.cm

7.15"/N.cm

80μm

15μm

0.1kg

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耐荷重 kg

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 50 50 - 100

ステージサイズ mm

20 - 80 80 - 150 150 - 250 250 - 350 350 - 450 450 - 500

ストローク mm

-10 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 250 250 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

10 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

ロック方式

マグネットロック ロレットつまみねじ ハンドルロック

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