流体温度制御製品超純水加熱装置
日本エクセル株式会社

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

シリコンウエハ・液晶用ガラス基板の超純水洗浄用として、高品質の石英ガラスで二重に覆われたハロゲンランプで高速加熱するユースポイントに最適な温水供給装置です。
特徴
■クリーン過熱部の容器は石英ガラス、配管部はフッ素樹脂。

■コンパクト接地面積を取らない薄型でコンパクト。

■高性能温調高出力ハロゲンランプによる優れた昇温立ち上がり特性と流量変化にも対応する温調。

■高効率過熱効率95％以上

■安全過昇温・空焚き・漏水等に対する安全機能及び警報機能により安全性に対応。

■用途・1.シリコンウエハの洗浄
・2.液晶用ガラス基板の洗浄
・3.その他のフロン系洗浄に代る温純水洗浄

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
流体温度制御製品超純水加熱装置

取扱企業
日本エクセル株式会社

この商品に関する問題を報告する

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

流体温度制御製品超純水加熱装置品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	加熱方式	ヒータ電力量	標準流量 (55℃昇温時)	最小加熱流量	温度設定範囲	温度制御精度	流量表示範囲	純水供給許容圧力	ヒータ	加熱部容器材質	器具・配管接液材質	安全機能	外部通信機能	外部入出力機能	外形寸法 (mm)	重量	電源 (50/60Hz) (3相3線)
	PWH-24i	要見積もり	近赤外線光による放射加熱方式	24kW	6l/min	2l/min	25~85℃	±1℃	0~50l/min (温度制御精度を保証する範囲ではありません)	0.4MPa (リリーフ圧0.35MPa)	ハロゲンランプ、液に直接触れない間接加熱方式	高純度透明石英	フッ素樹脂	流量異常、過昇温、空焚き、液漏れ、センサ断線、ランプ断線等、検出時出力停止・警報・表示、警報を接点出力	RS-232C/RS-485 (オプション) 同時選択はできません	8-入力/14-出力記号 (個別仕様により、異なる場合があります)	W340×D850×H1384	約140kg	AC200/208V共用69/67A