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流体温度制御製品 超純水加熱装置-PWH-24i
流体温度制御製品 超純水加熱装置-日本エクセル株式会社

流体温度制御製品 超純水加熱装置
日本エクセル株式会社

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この製品について

シリコンウエハ・液晶用ガラス基板の超純水洗浄用として、高品質の石英ガラスで二重に覆われたハロゲンランプで高速加熱するユースポイントに最適な温水供給装置です。 特徴

■クリーン

過熱部の容器は石英ガラス、配管部はフッ素樹脂。

■コンパクト

接地面積を取らない薄型でコンパクト。

■高性能温調

高出力ハロゲンランプによる優れた昇温立ち上がり特性と流量変化にも対応する温調。

■高効率

過熱効率95%以上

■安全

過昇温・空焚き・漏水等に対する安全機能及び警報機能により安全性に対応。

■用途

・1.シリコンウエハの洗浄 ・2.液晶用ガラス基板の洗浄 ・3.その他のフロン系洗浄に代る温純水洗浄

  • シリーズ

    流体温度制御製品 超純水加熱装置

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流体温度制御製品 超純水加熱装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 加熱方式 ヒータ電力量 標準流量 (55℃昇温時) 最小加熱流量 温度設定範囲 温度制御精度 流量表示範囲 純水供給許容圧力 ヒータ 加熱部容器材質 器具・配管接液材質 安全機能 外部通信機能 外部入出力機能 外形寸法 (mm) 重量 電源 (50/60Hz) (3相3線)
流体温度制御製品 超純水加熱装置-品番-PWH-24i

PWH-24i

要見積もり

近赤外線光による放射加熱方式

24kW

6l/min

2l/min

25~85℃

±1℃

0~50l/min (温度制御精度を保証する範囲ではありません)

0.4MPa (リリーフ圧0.35MPa)

ハロゲンランプ、液に直接触れない間接加熱方式

高純度透明石英

フッ素樹脂

流量異常、過昇温、空焚き、液漏れ、センサ断線、ランプ断線等、検出時出力停止・警報・表示、警報を接点出力

RS-232C/RS-485 (オプション) 同時選択はできません

8-入力/14-出力記号 (個別仕様により、異なる場合があります)

W340×D850×H1384

約140kg

AC200/208V共用69/67A

フィルターから探す

加熱装置をフィルターから探すことができます

最高温度 ℃

0 - 300 300 - 500 500 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,500 1,500 - 1,600 1,600 - 1,700

加熱電力 kW

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 10 10 - 20 30 - 100 100 - 300

電源電圧 V

AC100V AC110V AC200V AC220V AC230V AC240V AC380V

温度制御精度 ℃

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 10

加熱方式

ホットエアージャケット方式 セラミックヒーティング 発熱部分拡大タイプ

冷却方式

氣冷式 水冷式 強制空冷

安全装置

過電流ヒューズ 過熱警報 過熱保護 過昇温防止 遮断器 センサー異常検知 温度上限警報機能 漏電ブレーカー インターロック

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

日本エクセル株式会社は1963年に設立された、工業用シール部品の商社です。

バブル・ポンプなどの流体を制御する機器に使用され、液体の漏れを防止するグランドパッキン、気密性などを保つために配管などの接続部...

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  • 本社所在地: 東京都
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