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■概要

LD Rack システムは、ガスクロマトグラフMultiDetek3、ガスストリームセレクターLDGSS、ガス希釈システムLDGDSA、ガス精製器LDP1000、ガス回収・精製システムLDRPS を組み合わせ、1 つのラックシステムに集約可能な洗練された測定プラットフォームです。各ユニットは、スライド式で簡単に取り外せるため定期的なメンテナンスが迅速かつ簡単に行えます。内部配管は半導体製造グレード (超高純度アプリケーション用) のオービタル溶接仕様での制作も可能でリークインテグリティを保証します。

■半導体施工グレードの内部配管

システム内の配管は、全てオービタル溶接仕様で制作することも可能です。検出器内のバックプレッシャーシグナルの変動を除去する目的から個々のラインを他のベントから分離するために、低圧と高圧の個別ベントパイプが設置されています。動作ガスはキャリアガスから分離され、バルブ作動時の圧力変化のリスクを回避します。

■特長

・キャリアガス回収・再利用ユニット「LDRPS」と組み合わせ可能 ・専任オペレーター不要 ・人の手を介さず任意のスケジュールによる自動分析/ 自動校正 ・最小分析レンジ 0-100 ppb, LDL 0.5 ppb を実現 ・分析レンジ0-1 ppm、LDL30 ppb 以上の分析仕様の場合、アルゴンガスをキャリアガスとして運用可能 (分析仕様によります) ・特許取得済みの独自のPED 検出器による選択性のある確かな分析 ・ラック内配管半導体仕様施工対応可能 ・炭化水素の分析にFID を使用しないので水素やAir が不要 ・1 台のラックに集約、省スペース (w600 x d800 x h1,800 ～ ) ・メソッドを構築して納入するターンキーソリューション ・レポート形式の自由度 ・交換部品、定期メンテナンスの負担を軽減 ・イーサネットによるリモート監視、操作 ・シランなど特殊材料ガス中の不純物測定に対応 (アプリケーションノートLD24-01)

  • シリーズ

    MutiDetek3 ガスクロシステムラック LD Rack

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使用用途

#成分分析 #品質管理 #環境測定 #食品検査 #石油化学 #ニオイ評価 #ガス純度確認 #法規制対応 #研究開発

キャリアガス種類

ヘリウム型 水素型 窒素型

検出器種類

熱伝導型 水素炎イオン化型 電子捕獲型 質量分析型

カラム構造

パックドカラム型 キャピラリカラム型

分析方式

分取型 分析型

温度制御方式

定温型 昇温型

装置構成

単体型 モジュール型

カラム恒温槽温度範囲 ℃

10 - 300 300 - 400 400 - 450

電源 V

10 - 100 100 - 300

質量 kg

0 - 10 10 - 20 20 - 70

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