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プラズマエッチング用サファイア管
株式会社オルベ・パイオニア



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この製品について

最近、オゾン発生防止及び紫外線による損傷を防ぐため、石英ガラスのパイプにくらべサファイアガラス管がより最適であることがわかり、これを用いる方向が優勢になって来ています。UV殺菌、プラズマエッチング、高圧用などの用途に適しています。弊社では、吟味した純度の高い原材料 (ベルヌーイ法で製作した材料) を使用することにより、研磨しなくともほぼ透明なチューブ、ルツボを生産することが可能になりました。 サファイアガラスは1850℃でも常用が可能です。弗化水素を始め、硫酸、硝酸、塩酸等に対して300℃の温度でも殆ど侵されません。金属の融液Mg, Al, Cr, Co, Ni, Na, K, Bi, Zn, Cs等に対しては800~1,000℃の温度でも使用可能です。また、半導体製造に必要な特殊ガス、三弗化窒素 (NF3) 、六弗化タングステン (WF6) 等にも使用でき、さらに放射線に対しても安定しております。 弊社ではチューブ、ルツボの段付キャップや穴付キャップも製作可能。また、外径φ200mm長さ50mmまでの、C-軸が長手方向のブッシュ製作も可能です。成長方法:EFG法 内面AS GROWN/外面研削加工

  • シリーズ

    プラズマエッチング用サファイア管

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プラズマエッチング用サファイア管 品番1件

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プラズマエッチング用サファイア管

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全長 mm

30 - 50 50 - 70 70 - 100

密度 g/cm3

2 - 2.25 2.25 - 2.5

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