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半導体用特殊材料ガス・超高純度ガス用圧力調整器 エクセレント・マークⅡ-シリーズ (大流量用・パイロット式) EX-1000mkⅡ-P-G1取扱企業
株式会社千代田精機カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 種別フィルタ | 材質 | 適用ガス | 適用ガス (その他) | P1入口圧力 (MPa) 上限 | P2使用圧力 (MPa) | 流量 | 入口形状 (詳細) | 出口形状 (詳細) | 一般 / 認定 | シリーズ |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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EX-1000mkⅡ-P-G1 |
要見積もり |
装置用 |
ステンレス |
N2/Air/Ar/C2H2/C2H4/C3H8/CH4/CO2/H2/He/O2/Cl2/NH3 |
表記省略 |
3.3 |
0.1~0.8 |
120 (m3/h) 2,000 (L/min) |
1/2″VCR メス |
1/2″VCR メス |
一般品 |
EX |
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