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この製品について

■概要

・高性能 ・頑健性 ・長寿命

■特徴

・超純水電解によるクリーンなオゾンガスが原料。 ・オゾン水100mg/L以上の高濃度、オゾン水流量80 L/min. 以上も対応可能。 ・オゾン水濃度、 流量はお客様のニーズ合わせて対応可能。 ・バッチ式洗浄機には高濃度/大流量、枚葉式洗浄機には高濃度/小流量、連続シャワー式には低濃度/大流量を推奨。 ・コンパクトな省スペース設計。 ・オゾン発生器とブースターポンプ搭載により高吐出圧実現。 ・運転開始より3分で設定能動に到達する急速立ち上げ機構搭載。

■用途

・シリコンウエハ製造分野:エピ前洗浄、イオン注入前洗浄、平坦化後洗浄、純水殺菌。 ・半導体製造分野:ウエハ受入洗浄、成膜前洗浄、レジスト残渣除去、レジスト除去、純水ライン殺菌、CMP後洗浄。 ・LCD製造分野:ガラス基板受入洗浄、成膜前洗浄、純水ライン殺菌。

■ユーティリティ

・電力 (電圧、周波数の確認) ・純水 (17MΩ・cm以上の超純水。水温25℃以下。含有過酸化水素濃度50ppb以下) ・冷却水 (23℃±3℃) ・制御エアー (0.5~0.7MPa) ・熱排気ダクト ・排水ライン (自然流下または強制排出)

■オプション

・オゾン水昇圧ユニット ・薬液注入ユニット ・炭酸ガス添加ユニット ・節水ユニット

  • シリーズ

    電解オゾン水製造装置

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電解オゾン水製造装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) オゾン水濃度 (mg/L) オゾン水流量 (L/min.) 外形寸法 (巾×奥行×高さmm) 質量 (kg) 電源容量 (kVA) 炭酸ガス添加

POW-2010-S

要見積もり

20

10

1,300x1,200x1,700

650

11.9 (3φAC200V)

有/無

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電解水生成装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#食品工場 #医療機関 #介護施設 #農業現場 #水産施設 #飲食店 #教育施設 #公共施設 #清掃業務 #製造現場 #ペット施設

生成量 L/min

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 6 6 - 10 10 - 20 20 - 40 40 - 170

pH

2 - 3 3 - 5 5 - 7 7 - 9 9 - 11 11 - 12 12 - 13

消費電力 W

0 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,500

本体重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,100

使用可能水圧 MPa

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.4 0.4 - 0.7 0.7 - 0.8

電解時間 分

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 60 60 - 120

電極寿命 時間

0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000

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この商品の取り扱い会社情報

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37.3時間

会社概要

デノラ・ペルメレック株式会社は、1969年に設立された、金属電極の製造、販売を行う専門メーカーです。主として、金属基体に白金や酸化物を被覆させた不溶性金属電極であるDSE電極の開発、製造を行っています。 DSE電極は、...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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